rus
Sensofar was established as a spin-off in 2001 at the Polytechnic University of Catalonia (Spain) in order to develop and commercialize solutions in the field of surface profilometry. Currently, the Sensofar group includes Sensofar Metrology, which develops metrological solutions, and Sensofar Medical, which develops devices for the inspection of medical devices. Sensofar Metrology offers two product ranges: desktop devices for 3D profiling and optical 3D sensors. At the Control 2017 exhibition in Stuttgart (Germany) Sensofar Metrology presented the latest developments in the field of 3D surface characterization, in particular, the new version of the S neox, a flagship profilometer of the fourth generation. Alberto Aguerri, sales manager, told us about the features of this and other developments of Sensofar Metrology.
Господин Агуэрри, что отличает S neox от других 3D-профилометров?
В наших приборах, в частности, в S neox реализованы три технологии профилирования: конфокальная сканирующая микроскопия, интерферометрия и съемка с изменением фокуса. Конфокальное сканирование позволяет с высокой детализацией получать 2D-профили и 3D-изображения поверхностей различной формы и разной шероховатости – от гладких до грубых. Мы разработали и запатентовали уникальную систему конфокального профилирования с микродисплеем на базе сегнетоэлектрических жидких кристаллов на кремнии, которая обеспечивает быстроту и высокое качество сканирования, а также очень высокую надежность благодаря отсутствию подвижных элементов.
Вторая технология – оптическая интерферометрия – оптимальна для анализа шероховатости гладких образцов с субнанометровым разрешением по оси Z.
Съемка с изменением фокуса (Focus Variation) заключается в последовательном получении серии снимков с очень малой глубиной резкости, когда на каждом из них программно определяются точки и участки, которые находятся в фокусе, с формированием интегрального изображения поверхности объекта. Эта технология характеризуется высокой скоростью и позволяет работать с образцами, имеющими высокую кривизну поверхности и сложную форму.
Новыми разработками в области технологий профилирования стали непрерывное конфокальное сканирование (Continuous Confocal) и интегрированная конфокальная технология (Confocal Fusion). В первой из них реализовано непрерывное сканирование по оси Z вместо дискретного получения изображений, что увеличивает скорость работы примерно в три раза при сопоставимом качестве. Такое решение оптимально для промышленных приложений, требующих высокой производительности. Интегрированная конфокальная технология создана путем объединения традиционного конфокального сканирования со съемкой с изменением фокуса. Изображения в обоих режимах получаются и анализируются одновременно в ходе одного сканирования по оси Z. Интегрированная технология особенно эффективна при измерении сложных поверхностей с высокой кривизной и разной шероховатостью. Обе новые технологии могут применяться на приборах серии S, поддерживающих нашу систему "три в одном". На уже выпущенных приборах для этого необходимо лишь обновить программное обеспечение.
Помимо сочетания технологий профилирования, важными особенностями S neox является применение пьезоемкостных элементов для управления вертикальным позиционированием измерительной головки с точностью до 0,1 нм, ПЗС-матрицы с разрешением 1 360 Ч 1 024 пикселей, а также источника света на базе красного, зеленого и синего светодиодов, обеспечивающих высокое качество цветного изображения.
В новой, представленной на выставке версии S neox используется, так называемая, "пятиосевая" система, в которой 3D-профилирование дополнено применением высокоточного поворотного держателя, снабженного электроприводом. Это позволяет в автоматическом режиме выполнять измерения образца в нескольких позициях, получая на выходе полный комплекс данных о топографии его поверхности. Прибор комплектуется усовершенствованным ПО SensoCOMP и позволяет измерять образцы длиной до 150 мм и диаметром от 1 до 30 мм. Пятиосевой S neox может применяться для измерения отклонения формы от трехмерных моделей САПР, оценки износа детали, измерения критических размеров, шероховатости поверхности и объема в машиностроении, медицинской технике и других отраслях.
Какие решения предлагаются для измерений в режиме "ин-лайн"?
Для измерения геометрических параметров поверхностей непосредственно в технологическом оборудовании разработаны высокоскоростные компактные сенсоры моделей S mart и S onix. Их конструкция адаптирована к эксплуатации в условиях воздействия вибраций, агрессивных химических веществ и загрязняющих частиц: измерительные головки помещены в герметичные корпуса, в оптических системах отсутствуют подвижные элементы. В S mart, как и в S neox, реализовано сочетание трех технологий профилирования "три в одном", благодаря чему этот сенсор может использоваться для решения широкого спектра задач. В S onix реализован метод оптической интерферометрии и максимизирована скорость измерений, что позволяет применять его в наиболее высокопроизводительных промышленных системах.
Востребованы ли решения Sensofar в России?
В России, где мы успешно сотрудничаем с компанией "МИНАТЕХ", наши приборы используются в основном в исследованиях и разработках, преимущественно связанных с полупроводниковой промышленностью. Но в других отраслях также возникают интересные проекты. Например, одним из пользователей наших приборов является компания "АЛРОСА" – мировой лидер по добыче алмазов. В целом, ослабление рубля оказало негативное влияние на российский рынок аналитического оборудования, поэтому растет интерес к бюджетным решениям, таким как универсальный компактный 3D-профилометр S lynx.
Интервью: Дмитрий Гудилин
В наших приборах, в частности, в S neox реализованы три технологии профилирования: конфокальная сканирующая микроскопия, интерферометрия и съемка с изменением фокуса. Конфокальное сканирование позволяет с высокой детализацией получать 2D-профили и 3D-изображения поверхностей различной формы и разной шероховатости – от гладких до грубых. Мы разработали и запатентовали уникальную систему конфокального профилирования с микродисплеем на базе сегнетоэлектрических жидких кристаллов на кремнии, которая обеспечивает быстроту и высокое качество сканирования, а также очень высокую надежность благодаря отсутствию подвижных элементов.
Вторая технология – оптическая интерферометрия – оптимальна для анализа шероховатости гладких образцов с субнанометровым разрешением по оси Z.
Съемка с изменением фокуса (Focus Variation) заключается в последовательном получении серии снимков с очень малой глубиной резкости, когда на каждом из них программно определяются точки и участки, которые находятся в фокусе, с формированием интегрального изображения поверхности объекта. Эта технология характеризуется высокой скоростью и позволяет работать с образцами, имеющими высокую кривизну поверхности и сложную форму.
Новыми разработками в области технологий профилирования стали непрерывное конфокальное сканирование (Continuous Confocal) и интегрированная конфокальная технология (Confocal Fusion). В первой из них реализовано непрерывное сканирование по оси Z вместо дискретного получения изображений, что увеличивает скорость работы примерно в три раза при сопоставимом качестве. Такое решение оптимально для промышленных приложений, требующих высокой производительности. Интегрированная конфокальная технология создана путем объединения традиционного конфокального сканирования со съемкой с изменением фокуса. Изображения в обоих режимах получаются и анализируются одновременно в ходе одного сканирования по оси Z. Интегрированная технология особенно эффективна при измерении сложных поверхностей с высокой кривизной и разной шероховатостью. Обе новые технологии могут применяться на приборах серии S, поддерживающих нашу систему "три в одном". На уже выпущенных приборах для этого необходимо лишь обновить программное обеспечение.
Помимо сочетания технологий профилирования, важными особенностями S neox является применение пьезоемкостных элементов для управления вертикальным позиционированием измерительной головки с точностью до 0,1 нм, ПЗС-матрицы с разрешением 1 360 Ч 1 024 пикселей, а также источника света на базе красного, зеленого и синего светодиодов, обеспечивающих высокое качество цветного изображения.
В новой, представленной на выставке версии S neox используется, так называемая, "пятиосевая" система, в которой 3D-профилирование дополнено применением высокоточного поворотного держателя, снабженного электроприводом. Это позволяет в автоматическом режиме выполнять измерения образца в нескольких позициях, получая на выходе полный комплекс данных о топографии его поверхности. Прибор комплектуется усовершенствованным ПО SensoCOMP и позволяет измерять образцы длиной до 150 мм и диаметром от 1 до 30 мм. Пятиосевой S neox может применяться для измерения отклонения формы от трехмерных моделей САПР, оценки износа детали, измерения критических размеров, шероховатости поверхности и объема в машиностроении, медицинской технике и других отраслях.
Какие решения предлагаются для измерений в режиме "ин-лайн"?
Для измерения геометрических параметров поверхностей непосредственно в технологическом оборудовании разработаны высокоскоростные компактные сенсоры моделей S mart и S onix. Их конструкция адаптирована к эксплуатации в условиях воздействия вибраций, агрессивных химических веществ и загрязняющих частиц: измерительные головки помещены в герметичные корпуса, в оптических системах отсутствуют подвижные элементы. В S mart, как и в S neox, реализовано сочетание трех технологий профилирования "три в одном", благодаря чему этот сенсор может использоваться для решения широкого спектра задач. В S onix реализован метод оптической интерферометрии и максимизирована скорость измерений, что позволяет применять его в наиболее высокопроизводительных промышленных системах.
Востребованы ли решения Sensofar в России?
В России, где мы успешно сотрудничаем с компанией "МИНАТЕХ", наши приборы используются в основном в исследованиях и разработках, преимущественно связанных с полупроводниковой промышленностью. Но в других отраслях также возникают интересные проекты. Например, одним из пользователей наших приборов является компания "АЛРОСА" – мировой лидер по добыче алмазов. В целом, ослабление рубля оказало негативное влияние на российский рынок аналитического оборудования, поэтому растет интерес к бюджетным решениям, таким как универсальный компактный 3D-профилометр S lynx.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Readers feedback
