The paper studies several methods of packaging the microwave MEMS-switch on a GaAs wafer. The method with a framework system has been chosen. With the help of mathematical modeling, the optimal geometry of the cell of the framework system has been determined, which corresponds to mechanical and hydrodynamic requirements. The technology of packaging has been developed.

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Search:

Sign in
Nanoindustry
Editorial policy
Editorial collegium
Editorial board
Articles annotations
For authors
For reviewers
Publisher
TECHNOSPHERA
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Sign in:

Your e-mail:
Password:
 
Create your account
Forgot your password?
FOR AUTHORS:

Instruction to authors
FOR REVIEWERS:

Книги по нанотехнологиям
Под редакцией Ю-Винг Май, Жонг-Жен Ю
Головнин В.А., Каплунов И.А., Малышкина О.В., Педько Б.Б., Мовчикова А.А.
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Special Issue/2019
И. В. Кулинич, В. А. Кагадей, Р. Н. Мухтеев
A method of packaging RF MEMs switch on GaAs wafer using a frame system
The paper studies several methods of packaging the microwave MEMS-switch on a GaAs wafer. The method with a framework system has been chosen. With the help of mathematical modeling, the optimal geometry of the cell of the framework system has been determined, which corresponds to mechanical and hydrodynamic requirements. The technology of packaging has been developed.
The paper studies several methods of packaging the microwave MEMS-switch on a GaAs wafer. The method with a framework system has been chosen. With the help of mathematical modeling, the optimal geometry of the cell of the framework system has been determined, which corresponds to mechanical and hydrodynamic requirements. The technology of packaging has been developed.
 
 Readers feedback
Разработка: студия Green Art