Наноиндустрия - научно-технический журнал

Аннотации статей

Table of Contents

Содержание

Test & Measurement

Контроль и измерения

V. I. Plebanovich S. M. Avakaw
Microdefect inspection tools as necessary system technology constituent

В. И. Плебанович С. М. Аваков
Оборудование контроля микродефектности — необходимая составляющая системной технологии

K. V. Grigorash
The role of standardization in designing systems, tools and electronic component base for the development of ACS and communications of the Russian Federation Armed Forces

К. В. Григораш
Роль стандартизации при разработке систем, средств и электронной компонентной базы в интересах развития АСУ и связи Вооруженных Сил Российской Федерации

A. N. Alexeev S. I. Petrov V. V. Mamaev S. A. Novikov E. V. Lutsenko N. V. Rzheutskii
Advantages of using Russian ammonia MBE system for growing nitride heterostructures for microelectronics

А. Н. Алексеев С. И. Петров В. В. Мамаев С. А. Новиков Е. В. Луценко Н. В. Ржеуцкий
Преимущества использования отечественной высокотемпературной аммиачной МЛЭ при выращивании гетероструктур на основе GaN для микроэлектроники

M. G. Biryukov V. V. Odinokov
Vacuum-plasma processes and experimental equipment for optimizing technologies on O200 mm plates with topological dimensions of 180–65 nanometers level

М. Г. Бирюков В. В. Одиноков
Вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование для отработки технологий на пластинах O200 мм с топологическими размерами уровня 180–65 нм

Yu. V. Gerasimenko V. F. Tupikin A. S. Ermakova N. V. Komarov V. N. Komarov A. I. Sergienko
Promising directions of developing specialized domestic equipment for wafer technochemical processing in technological process of manufacturing microcircuits, MEMS and microassemblies

Ю. В. Герасименко В. Ф. Тупикин А. С. Ермакова Н. В. Комаров В. Н. Комаров А. И. Сергиенко
Перспективные направления развития специализированного отечественного оборудования технохимической обработки пластин в технологическом процессе изготовления микросхем, МЭМС и микросборок

D. S. Semichasnova V. V. Kondrashov
Automation features of surface mount technologies of printed boards in the realities of the state defense order

Д. С. Семичаснова В. В. Кондрашов
Особенности автоматизации процесса сборки печатных узлов

V. V. Kondrashov V. V. Chapkin A. V. Lukashenkov
Laser trimming simulation of fi lm resistors in ResModel as a basis for developing an optimal control system

В. В. Кондрашов В. В. Чапкин А. В. Лукашенков
Имитационное моделирование процесса лазерной подгонки пленочных резистивных элементов в программе ResModel как основа построения оптимальных систем управления

V. V. Ivanov D. N. Tuzhilin A. A. Efi mov D. A. Mylnikov K. M. Khabarov P. V. Arsenov D. L. Saprykin
Developing additive technology for the production of 3D-microstructures based on aerosol nanoparticles printing with local laser sintering

В. В. Иванов Д. Н. Тужилин А. А. Ефимов Д. А. Мыльников К. М. Хабаров П. В. Арсенов Д. Л. Сапрыкин
Развитие аддитивной технологии для производства 3D-микроструктур на основе аэрозольной печати наночастицами с локальным лазерным спеканием

V. V. Vedeneev A. I. Reshmin S. K. Teplovodskii J. S. Zayko V. V. Trifonov A. V. Markin
Gas-dynamic protection of microelectronics processes and objects from external contamination

В. В. Веденеев А. И. Решмин С. Х. Тепловодский Ю. С. Зайко В. В. Трифонов А. В. Маркин
Газодинамическая защита процессов и объектов микроэлектроники от внешних контаминаций

A. V. Borodin, A. V. Veretennikov, S. V. Bozhko, S. V. Kotov, D. N. Kuzmin, V. A. Borodin
Factory of the future for developing and manufacturing customized vacuum equipment for scientifi c instrument making and high-tech industries

А. В. Бородин А. В. Веретенников С. В. Божко С. В. Котов Д. Н. Кузьмин В. А. Бородин
Фабрика будущего по разработке и производству кастомизированной вакуумной техники для научного приборостроения и высокотехнологичных отраслей промышленности

V. V. Mazhulin, P. M. Matyushin, E. A. Shamaev
Test rigs for ICs: development experience and new opportunities

В. В. Мажулин П. М. Матюшин Е. А. Шамаев
Оснастки для проведения испытаний микросхем: опыт разработки и новые возможности

O. Yu. Bulgakov
The state and directions of developing metrological support of tests in the ECB production

О. Ю. Булгаков
Состояние и направления развития метрологического обеспечения испытаний при производстве ЭКБ

P. P. Kutsko, O. Yu. Bulgakov
The concept of creating an integrated center for organizing and conducting tests of ECB and radio electronics

П. П. Куцько О. Ю. Булгаков
Концепция создания Интегрированного центра организации и проведения испытаний ЭКБ и РЭА

A. A. Kuzmin, D. V. Nacharov, Yu. P. Mikhaylyuck, V. V. Vertegel, Yu. B. Gimpilevich
System for improving the discernibility of informative regions on digital images of integrated circuits layouts

А. А. Кузьмин Д. В. Начаров Ю. П. Михайлюк В. В. Вертегел Ю. Б. Гимпилевич
Система улучшения различимости информативных фрагментов на цифровых изображениях топологий интегральных схем

Стандартизация

S. V. Novichkov, D. E. Bandurin
Software and hardware VLSI verifi cation. SCE-MI standard

С. В. Новичков, Д. Е. Бандурин
Программно-аппаратная верификация СБИС. Стандарт SCE-MI

D. V. Kulikov
A behavioral model of pipelined ADCs

Д. В. Куликов
Поведенческая модель конвейерных АЦП

A. A. Glushko, M. G. Chistyakov, I. V. Kudinov, S. A. Morozov, G. A. Yashin, A. V. Amirkhanov, V. V. Makarchuk, L. A. Zinchenko
Combining radiation transport simulations with TCAD modeling to address Single Event Eff ects

А. А. Глушко, М. Г. Чистяков, И. В. Кудинов, С. А. Морозов, Г. А. Яшин, А. В. Амирханов, В. В. Макарчук, Л. А. Зинченко
Методика сопряжения моделирования радиационного транспорта и приборно-технологического моделирования для исследования одиночных сбоев

V. V. Alekseev, A. I. Kolyadin, A. A. Chuprinov
A system of intellectual support of the designer based on united information space (IPR)

В. В. Алексеев, А. И. Колядин, А. А. Чупринов
Система интеллектуальной поддержки проектировщика на базе объединенного информационного пространства (ОИП)

M. M. Gourary, M. M. Zharov, L. P. Ionov, I. I. Mukhin, S. G. Rusakov, I. M. Ten, S. L. Ulyanov
PLL Phase Micromodel Considering Nonlinear Effects

М. М. Гурарий, М. М. Жаров, Л. П. Ионов, И. И. Мухин, С. Г. Русаков, И. М. Тен, С. Л. Ульянов
Фазовая макромодель схем ФАПЧ с учетом нелинейных эффектов

O. S. Pivko, A. M. Galimov
Angular dependence and averaging over full solid angle of upset cross section in modern COTS memory circuits

О. С. Пивко, А. М. Галимов
Угловая зависимость и усреднение по полному телесному углу сечения сбоев современных коммерческих ИМС памяти

R. S. Aristov, A. A. Gladkikh, V. N. Davydov, M. O. Komakhin
Developing software Kopycat platform for emulation of complex computing systems

Р. С. Аристов, А. А. Гладких, В. Н. Давыдов, М. О. Комахин
Разработка программной платформы Kopycat эмуляции сложных вычислительных систем

V. N. Davydov, M. O. Komakhin, Yu. S. Mikhailov
Achievements of INFORION LLC in electronics and microelectronics development and design

В. Н. Давыдов, М. О. Комахин, Ю. С. Михайлов
Достижения компании ООО «ИНФОРИОН» в области разработки и проектирования электроники и микроэлектроники

I. N. Bychkov, S. G. Lomako
Developing technology for packing VLSI

И. Н. Бычков, С. Г. Ломако
САПР проектирования коммутационных плат корпусов

A. V. Prikota, V. V. Bubnov
Modern Technologies in Electronic Circuit Simulation Released in SimOne Circuit Simulator

А. В. Прикота, В. В. Бубнов
Современные технологии моделирования электронных схем в системе схемотехнического моделирования SimOne

K. A. Medvedev, A. V. Kuzovkov, V. V. Ivanov
Algorithm and methodology for increasing the OPC-recipe effi ciency

К. А. Медведев, А. В. Кузовков, В. В. Иванов
Алгоритм и методика повышения эффективности OPC-рецепта

V. I. Karagusov
Determining the optimal warm-up power of SC-cut direct heating piezoelement

В. И. Карагусов
Определение оптимальной мощности разогрева кварцевого пьезоэлемента ТД-среза

A. V. Andrianov
Practical ways of optimizing regression testing of “system-on-chip” projects

А. В. Андрианов
Практические способы оптимизации процесса регрессионного тестирования СБИС «СнК»

J. Kirshman
Understanding and Correctly Predicting Critical Metrics for Wireless RF Links

Д. Киршман
Моделирование ключевых элементов беспроводных систем

A. M. Galimov, E. S. Shalashova, I. A. Fateev, A. V. Alexandrov
Exploring the susceptibility to dice fl ip-fl op upsets in CREME-MC

А. М. Галимов, Е. С. Шалашова, И. А. Фатеев, А. В. Александров
Исследование чувствительности к сбоям dice-триггера в инструменте CREME-MC

S. I. Bokov, V. V. Alekseev, A. A. Chuprinov, A. A. Kolyadin
Issues of managing state target programs aimed at creating radio-electronic and information technologies

С. И. Боков, В. В. Алексеев, А. А. Чупринов, А. А. Колядин
Вопросы управления государственными целевыми программами, направленными на создание радиоэлектронных и информационных технологий

S. I. Bokov, V. V. Alekseev, A. A. Chuprinov, A. A. Kolyadin
Using knowledge bases in computer-aided design systems

С. И. Боков, В. В. Алексеев, А. А. Чупринов, А. А. Колядин
Использование баз знаний в системах автоматизированного проектирования

Plenary reports

Пленарные доклады

V. V. Shpak
Microelectronics as a driver of advanced development of Russian industry

В. В. Шпак
Микроэлектроника — локомотив опережающего развития российской промышленности

A. I. Belous,V. A. Saladukha
Modern Technologies for Security Control in Microelectronics

А. И. Белоус, В. А. Солодуха
Современные технологии контроля безопасности в микроэлектронике

Navigationally connected VLSIs and modules

Навигационно-связные СБИС и модули

A. A. Alimov
Developing navigation module on domestic radiation-resistant element base

А. А. Алимов
Разработка навигационного модуля на отечественной радиационно-стойкой элементной базе

M. Yu. Klimenko
Triple-band highprecision GNSS receiver MC149.01

M. Ю. Клименко
Встраиваемый модуль высокоточного спутникового трехчастотного навигационного приемника МС149.01

Т. Ю. Дубинко
Технология высокоточной навигации по сигналам ГНСС на основе коррекции эфемеридно-временной информации (технология РРР). Опыт создания, результаты испытаний и перспективы внедрения

I. L. Korneev, M. S. Kulakov, I. D. Grigorev, I. A. Tatarchuk
Developing domestic electronic component base for ADS-B and AIS technology implementation in Russian Federation

И. Л. Корнеев, М. С. Кулаков, И. Д. Григорьев, И. А. Татарчук
Разработка отечественной ЭКБ для реализации технологий АЗН-В и АИС в РФ

I. L. Korneev, V. V. Egorov
Issues of building local navigation systems. Application prospects and potential of designed technical modules

И. Л. Корнеев, В. В. Егоров
Вопросы построения локальных систем навигации. Перспективы применения и потенциальные возможности проектируемых технических модулей

I. B. Chikvarkin, T. Yu. Dubinko, A. I. Levchenko, V. I. Zelenskiy, V. O. Skvortsov
Developing high-precision navigation equipment for agricultural, marine and inland water transport based on national ECB

И. Б. Чикваркин, Т. Ю. Дубинко, А. И. Левченко, В. И. Зеленский, В. О. Скворцов
Разработка высокоточной навигационной аппаратуры для с/х техники, морского и речного транспорта на отечественной ЭКБ

A. R. Popov
Methodology for constructing mobile multicast asynchronous communication and control systems with noise-like signals

А. Р. Попов
Методология построения мобильных многоадресных асинхронных систем связи и управления с шумоподобными сигналами

A. V. Aleksandrov, V. V. Erokhin
Specialized communication calculator SSV-64 for trusted domestic telecommunication equipment

А. В. Александров, В. В. Ерохин
Специализированный связной вычислитель ССВ-64 для доверенной отечественной телекоммуникационной аппаратуры

D. E. Chickrin, P. A. Savinkov, P. A. Kokunin, R. I. Shagiev
Integrated systems of high-precision satellite-local-inertial navigation in unmanned vehicle control

Д. Е. Чикрин, П. А. Савинков, П. А. Кокунин, Р. И. Шагиев
Интегрированные системы высокоточной спутниково-локально-инерциальной навигации в задачах беспилотного управления транспортными средствами

High-performance computation systems

Высокопроизводительные вычислительные системы

I. N. Bychkov, P. A. Chuchko
Solutions for computer hardware based on Elbrus-8CB processor

И. Н. Бычков, П. А. Чучко
Решения для средств вычислительной техники на основе процессора «Эльбрус-8СВ»

A. S. Vorobiev
Developing a multi-core processor based on a polymer commutation board

А. С. Воробьев
Разработка корпуса многоядерного процессора на основе полимерной коммутационной платы

I. E. Bilyaletdinov, A. E. Ometov, L. S. Timin, A. A. Vinogradov
Remote debugging tool of Elbrus processors

И. Е. Билялетдинов, А. Е. Ометов, Л. С. Тимин, А. А. Виноградов
Средство удаленной отладки процессоров «Эльбрус»

A. V. Kolotov
Using gate array cells for freeze silicon ECO in 28nm and 16nm technology nodes

А. В. Колотов
Особенности внесения изменений при перепроизводстве ИС в технологических процессах с нормами 28 и 16 нм

S. V. Mushkaev, I. V. Zhilenkov
NeuroMatrix Architecture in 3D-graphics: opportunities and prospects

С. В. Мушкаев, И. В. Жиленков
Архитектура NeuroMatrix в трехмерной графике: возможности и перспективы

S. I. Aryashev, P. S. Zubkovskiy
64-bit COMDIV architecture systems-on-chip

С. И. Аряшев, П. С. Зубковский
64-разрядные системы на кристалле с архитектурой «КОМДИВ»

S. G. Elizarov, G. A. Lukyanchenko, D. S. Markov, A. M. Monakhov, V. A. Roganov
Functional and performance validation of many-core systems based on the ideas of the RSA algorithm

С. Г. Елизаров, Г. А. Лукьянченко, Д. С. Марков, А. М. Монахов, В. А. Роганов
Тестирование многоядерных вычислительных систем на основе идей алгоритма RSA

S. V. Yurlin, A. S. Vorobiev
Scalable emulation system for complex computing systems

С. В. Юрлин, А. С. Воробьев
Масштабируемая система эмуляции сложных вычислительных систем

B. Yu. Rogatkin, Yu. B. Rogatkin
Monitoring unit of VLSI microprocessor by 28 nm technology

Б. Ю. Рогаткин, Ю. Б. Рогаткин
Блок мониторинга СБИС микропроцессора для технологии 28 нм

P. S. Zubkovskiy
Methods of creating arithmetic coprocessors models

П. С. Зубковский
Методика создания моделей арифметических сопроцессоров

S. I. Aryashev, A. V. Kornilenko, P. S. Zubkovsky, O. I. Esula
Memory subsystem design to ensure performance in solving 3D graphics problems

С. И. Аряшев, А. В. Корниленко, П. С. Зубковский, О. И. Эсула
Проектирование подсистемы памяти для обеспечения быстродействия при решении задач трехмерной графики

M. S. Ladnushkin, S. I. Aryashev
Register replication in embedded scan compression systems

М. С. Ладнушкин, С. И. Аряшев
Особенности проектирования систем скан-тестирования с компрессией

N. A. Bocharov, R. V. Eliseev, N. B. Paramonov, D. V. Yanko
Disaster tolerance of onboard computer systems based on Elbrus microprocessors

Н. А. Бочаров, Р. В. Елисеев, Н. Б. Парамонов, Д. В. Янко
Катастрофоустойчивость бортовых вычислительных систем на базе микропроцессоров «Эльбрус»

Ya. N. Moroz
Physical design of video codecs for Elbrus microprocessors by 16 nm technology

Я. Н. Мороз
Физическое проектирование видеокодеков для микропроцессоров семейства «Эльбрус» на технологии 16 нм

A. V. Bumagin, A. V. Gondar, S. A. Savelyev
Developing Rad Hard Serial RapidIO 2.5G Interface Transceiver IP Based on Russian Technological

А. В. Бумагин, А. В. Гондарь, С. А. Савельев
Разработка сложно-функционального блока приемопередатчика интерфейса Serial RapidIO 2,5 Гбит/с на основе отечественного технологического процесса для применения в составе радиационно-стойких интегральных микросхем

Information-management systems

Информационно-управляющие системы

S. F. Gorbunov, V. Yu. Grishin, P. M. Eremeev
Spacecraft network interfaces: development prospects and implementation problems

С. Ф. Горбунов, В. Ю. Гришин, П. М. Еремеев
Сетевые интерфейсы космических аппаратов: перспективы развития и проблемы внедрения

E. A. Novozhilov, Yu. B. Rogatkin, A. V. Larionov, S. O. Zadiabin
High-speed interfaces in SRISA processors for space applications

Е. А. Новожилов, Ю. Б. Рогаткин, А. В. Ларионов, С. О. Задябин
Реализация высокоскоростных интерфейсов в процессорах ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН для космических

A. L. Pereverzev, A. A. Biryuk, V. I. Oreshkin, I. A. Kuzmin, K. S. Lyalin, T. A. Dovgal
SAR simulation bench

А. Л. Переверзев, А. А. Бирюк, В. И. Орешкин, И. А. Кузьмин, К. С. Лялин, Т. А. Довгаль
Стенд имитационного моделирования радара с синтезированной апертурой

S. I. Bokov, A. A. Chuprinov
On the role of digital economy of Russia management system based on organizing a unifi ed information space

С. И. Боков, А. А. Чупринов
О роли обеспечения системы управления цифровой экономикой России на основе организации единого информационного пространства

A. V. Zuikov, A. A. Vorobiev, S. E. Seriakov
Providing heat dissipation for 6U modules in backbone-modular systems based on high-speed interfaces for space applications

А. В. Зуйков, А. А. Воробьев, С. Е. Серяков
Обеспечение теплоотвода модулей 6U в магистрально-модульных системах на базе высокоскоростных

E. V. Gusev, S. N. Tikhonov
Long life spacecraft onboard software design

Е. В. Гусев, С. Н. Тихонов
Организация программного обеспечения бортовых вычислительных машин космических аппаратов

A. L. Pereverzev, A. A. Biryuk, V. I. Oreshkin, K. S. Lyalin, Yu. M. Meleshin
Hardware and algorithmic solutions in SAR design

А. Л. Переверзев, А. А. Бирюк, В. И. Орешкин, К. С. Лялин, Ю. М. Мелёшин
Аппаратные и алгоритмические решения при проектировании РСА

N. V. Kostulin, E. S. Yanakova
The fast face recognition algorithm for semantic image analysis on ELcore DSP-cores

Н. В. Костулин, Е. С. Янакова
Быстрый алгоритм обнаружения и распознавания лиц для семантического анализа изображений на DSP-ядрах ELcore

A. D. Listopadov
Steress Testing in the VLSI development route

А. Д. Листопадов
Нагрузочное тестирование в маршруте разработки СБИС

P. A. Tarabarov, P. M. Eremeev, V. Yu. Grishin
Fault-tolerant control computing system with hardware mutual information agreement and automatic reconfi guration

П. А. Тарабаров, П. М. Еремеев, В. Ю. Гришин
Отказоустойчивая управляющая вычислительная система с аппаратной поддержкой взаимного информационного согласования и автоматической реконфигурацией

T. A. Madumarov, A. V. Stefantsov
Automation system of onboard microwave equipment verifi cation

Т. А. Мадумаров, А. В. Стефанцов
Система автоматизации испытаний бортового СВЧ-оборудования

T. Robinson, R. Rjiba, A. Cottour, P. Nunes, D. Kerr-Munslow, S. Kazachenko
Cortus CIoT25 SoC off ers edge to cloud solutions with midrange ratio connectivity for secure and aff ordable IoT

Т. Робинсон, Р. Рджиба, А. Котюр, Ф. Нюн, Д. Керр-Манслоу, С. Казаченко
Приемопередатчик с низким энергопотреблением Cortus CIoT25 для приложений Интернета вещей

V. A. Baskin, I. A. Sokolov, Yu. K. Kalinnikov
Developing RF modules for onboard spacecraft acousto-optic devices

В. А. Баскин, И. А. Соколов, Ю. К. Калинников
Разработка радиочастотных модулей для бортовых акустооптических приборов космического назначения

Techologies and micro- and nanoelectronics components

Технологии и компоненты микро- и наноэлектроники

V. P. Bokarev, G. Ya. Krasnikov, E. S. Gornev
Anisotropy of Crystals Surface Properties and its Role in Microelectronic Technology

В. П. Бокарев, Г. Я. Красников, Е. С. Горнев
Анизотропия поверхностных свойств кристаллов и ее роль в технологии микроэлектроники

P. I. Kozlov, N. A. Nagaev
Trends in the development of metal-ceramic packages: import substitution, tooling, components

П. И. Козлов, Н. А. Нагаев
Тенденции развития металлокерамических корпусов: импортозамещение, оснастка, комплектующие

D. A. Sukhanov
Modernizing thin-fi lm HIC production

Д. А. Суханов
Модернизация производства тонкопленочных ГИС

A. V. Kuzovkov, V. V. Ivanov
MPW reticle floorplanning method for low-volume production

А. В. Кузовков, В. В. Иванов
Метод расстановки кристаллов в MPW в условиях мелкосерийного производства

N. A. Kuznetsova
Application of new FN-16U photoresist to create semiconductor devices

Н. А. Кузнецова
Применение нового фоторезиста ФН-16У для создания полупроводниковых приборов и устройств

A. L. Potapov, I. B. Yashanin
Optimization and prospects of introducing the process of radiation rejection of microcircuits

А. Л. Потапов, И. Б. Яшанин
Оптимизация и перспективы внедрения процесса радиационной отбраковки микросхем

Yu. M. Moskovskaya
Microelectronic parts’ radiation hardness assurance within fabrication process: guidelines to rational methodical approach selection criteria

Ю. М. Московская
Контроль радиационной стойкости изделий микроэлектроники в процессе серийного производства:

Yu. M. Gerasimov, N. G. Grigoryev, A. V. Kobylyatskiy, Ya. Ya. Petrichkovich
Test chips for experiment-based radiation hardness calculation of nanometer systems-on-chip

Ю. М. Герасимов, Н. Г. Григорьев, А. В. Кобыляцкий, Я. Я. Петричкович
Тестовые кристаллы для расчетно-экспериментальной оценки радиационной стойкости нанометровых КМОП СБИС СнК

И. В. Кулинич, В. А. Кагадей, Р. Н. Мухтеев
A method of packaging RF MEMs switch on GaAs wafer using a frame system

И. В. Кулинич, В. А. Кагадей, Р. Н. Мухтеев
Метод корпусирования СВЧ МЭМ-ключа на пластине GaAs с использованием каркасной системы

E. L. Kharchenko, A. V. Kuzovkov, V. V. Ivanov
Optimizing SRAF placement to increase photolithography resolution

Е. Л. Харченко, А. В. Кузовков, В. В. Иванов
Оптимизация размещения SRAF для увеличения разрешающей способности фотолитографии

I. N. Alekseev, V. D. Baykov, A. V. Glushkov, D. A. Domozhakov, A. V. Dubinskiy, N. Yu. Rannev
Problems of increasing speed characteristics of SpaceFibre transceivers

И. Н. Алексеев, В. Д. Байков, А. В. Глушков, Д. А. Доможаков, А. В. Дубинский, Н. Ю. Раннев
Проблемы повышения скоростных характеристик приемопередатчиков портов SpaceFibre

V. A. Chetverikov, G. V. Baranov, A. G. Italyantsev, A. S. Klyuchnikov
The eff ect of pore formation at thermal growth of metal silicides on the surface of bulk nanoscale Si structures

В. А. Четвериков, Г. В. Баранов, А. Г. Итальянцев, А. С. Ключников
Эффект порообразования при термическом росте силицидов металлов на поверхности объемных

A. A. Sharapov, G. V. Baranov
Analyzing factors infl uencing the roughness of Si microelectronics topological structures

А. А. Шарапов, Г. В. Баранов
Анализ факторов воздействия на шероховатость топологических структур Si микроэлектроники

A. A. Konarev, S. O. Ranchin, D. A. Varlamov
Electrochemical synthesis of tetramethylammonium hydroxide concentrate

А. А. Конарев, С. О. Ранчин, Д. А. Варламов
Электрохимический синтез концентрата тетраметиламмония гидроксида

N. A. Tulina, A. N. Rossolenko, I. M. Shmytko, А. A. Ivanov, А. М. Ionov, S. I. Bozhko, V. V. Sirotkin, I. Yu. Borisenko,
Functional properties of anisotropic perovskite compounds in memristor structures for application in electronics

Н. А. Тулина, А. Н. Россоленко, И. М. Шмытько, А. А. Иванов, А. М. Ионов, С. И. Божко, В. В. Сироткин,
Функциональные свойства анизотропных перовскитных соединений в мемристорных структурах для применения в электронике

A. N. Belov, A. M. Mastinin, A. A. Perevalov, V. I. Shevyakov
Specifics of forming memristors based on copper sulfide

А. Н. Белов, А. М. Мастинин, А. А. Перевалов, В. И. Шевяков
Особенности создания мемристорных структур на основе сульфида меди

A. A. Golishnikov, M. G. Putrya, V. I. Shevyakov
Researching silicon deep plasma etching process for producing 3D-TSV structures

А. А. Голишников, М. Г. Путря, В. И. Шевяков
Исследование процесса глубокого плазменного травления кремния для создания 3D-TSV-структур

V. I. Egorkin, M. N. Zhuravlev, V. E. Zemlyakov
Heterobipolar transistor with high breakdown voltage based on GaAs compounds nanoheterostructures

В. И. Егоркин, М. Н. Журавлёв, В. Е. Земляков
Гетеробиполярный транзистор с высоким напряжением пробоя на основе наногетероструктур соединений

A. O. Lebedev, S. V. Ivanov, O. M. Orlov
Functional methods of VSET and ROFF stabilization for RеRAM memory cells based on hafnium oxide

А. О. Лебедев, С. В. Иванов, О. М. Орлов
Функциональные методы стабилизации параметров VSET И ROFF для ячеек памяти RеRAM на основе оксида гафния

E. V. Ipatova, E. L. Kharchenko
Generating random configuration topology for OPC-model testing

Е. В. Ипатова, Е. Л. Харченко
Генерация топологии случайной конфигурации для отработки OPC-модели

Microelectronics products of general and dedicated purposes

Изделия микроэлектроники общего и специализированного назначения

S. A. Ilin, O. V. Lastochkin, A. S. Nadin, A. A. Novikov, D. S. Shipitsin
Design platform for CMOS RHBD 90 nm technology

С. А. Ильин, О. В. Ласточкин, А. С. Надин, А. А. Новиков, Д. С. Шипицин
Конструкторско-технологическая платформа проектирования радиационно-стойких СБИС на базе

Yu. M. Gerasimov, N. G. Grigoryev, A. V. Kobylyatskiy, L. V. Menshenin
SRAM and register fi le IP-blocks for nanometer radiation-hardened systems on chip

Ю. М. Герасимов, Н. Г. Григорьев, А. В. Кобыляцкий, Л. В. Меньшенин
Сложно-функциональные блоки ОЗУ и регистровых файлов для нанометровых радиационно-стойких КМОП СБИС СнК

Yu. M. Gerasimov, N. G. Grigoryev, A. V. Kobylyatskiy, Ya. Ya. Petrichkovich, T. V. Solokhina
From The First CMOS Transistors To The Radiation-Hardened Nanometer CMOS Systems-on-chip

Ю. М. Герасимов, Н. Г. Григорьев, А. В. Кобыляцкий, Я. Я. Петричкович, Т. В. Солохина
От первых КМОП-транзисторов до радиационно-стойких нанометровых КМОП СБИС СнК

A. B. Boruzdina, A. A. Pechenkin, A. V. Yanenko, A. I. Chumakov, A. N. Egorov
Rational composition and features of practical application of test methods and installations for estimating microelectronic devices resistance to SEE

А. Б. Боруздина, А. А. Печенкин, А. В. Яненко, А. И. Чумаков, А. Н. Егоров
Рациональный состав и особенности практического применения испытательных методов и установок для

A. V. Ulanova, A. I. Chumakov, A. V. Sogoyan, A. A. Smolin, A. O. Ahmetov
Estimating single event rate using two-parameter model

А. В. Уланова, А. И. Чумаков, А. В. Согоян, А. А. Смолин, А. О. Ахметов
Оценка частоты одиночных радиационных эффектов при воздействии тяжелых заряженных частиц на основе двухпараметрической модели

A. A. Antonov, A. G. Prozorova, L. A. Solovyeva, A. A. Krasnyuk
Software and hardware methods of locating errors and failures for redundant and multichannel IP-blocks

А. А. Антонов, А. Г. Прозорова, Л. А. Соловьева, А. А. Краснюк
Программно-аппаратные методы локации ошибок и сбоев для резервированных и многоканальных СФ-блоков

V. D. Baykov, D. A. Domozhakov, A. V. Dubinskiy
Estimating BER in SpaceFibre transceivers

В. Д. Байков, Д. А. Доможаков, А. В. Дубинский
Методика оценки вероятности возникновения битовых ошибок в приемопередатчиках SpaceFibre

D. V. Matveev, A. M. Galimov, I. A. Fateev, D. V. Kulikov
Integrated solution for parrying thyristor eff ect for VLSI SoC

Д. В. Матвеев, А. М. Галимов, И. А. Фатеев, Д. В. Куликов
Интегрированное решение парирования тиристорного эффекта для СБИС СнК

A. A. Sapeghin, M. Yu. Barabanenkov, A. G. Italyantsev, M. E. Makarov
Principles of designing photon ADC and prospects for their implementation in integral performance

А. А. Сапегин, М. Ю. Барабаненков, А. Г. Итальянцев, М. Э. Макаров
Принципы построения фотонных АЦП и перспективы их реализации в интегральном исполнении

F. A. Umurzakov
Featuring the circuit synthesis route of combined digital VLSI circuit

Ф. А. Умурзаков
Особенности маршрута схемотехнического синтеза комбинированной цифровой схемы СБИС

Ya. V. Antimirov, Yu. A. Ivanova, D. V. Kukushkin, A. O. Ovchinnikov, E. V. Chemodanov
Peculiarities of developing the Wi-Fi 802.11ah interface IP-core

Я. В. Антимиров, Ю. А. Иванова, Д. В. Кукушкин, А. О. Овчинников, Е. В. Чемоданов
Особенности разработки СФ-блока интерфейса Wi-Fi 802.11ah

N. I. Plis, R. G. Zakirov
Actions of Angstrem JSC on diversifying electronic components production for civilian usage

Н. И. Плис, Р. Г. Закиров
Действия АО «Ангстрем» по диверсификации производства ЭКБ гражданского назначения

D. V. Malygin
“Inter” telemetry control system based on “Synergy” platform

Д. В. Малыгин
Система телеметрического контроля «Интер» платформы «Синергия»

M. G. Chistyakov, A. A. Glushko, S. А. Morozov, G. A. Yashin, S. V. Rumyantsev
Methods of determining on-chip variation coefficients for automated design of extra large digital integrated circuits

М. Г. Чистяков, А. А. Глушко, С. А. Морозов, Г. А. Яшин, С. В. Румянцев
Методика определения коэффициентов запаса для автоматизированного проектирования цифровых

A. E. Agafonov, S. I. Boroshko, P. G. Kirichenko, O. V. Sysoeva, I. V. Tarasov, A. G. Khokhlova
A 65-nm videocontroller synthesizer for monitors with resolution up to 4K

А. Е. Агафонов, С. И. Борошко, П. Г. Кириченко, О. В. Сысоева, И. В. Тарасов, А. Г. Хохлова
Синтезатор видеоконтроллера по технологии 65 нм для мониторов с разрешением до 4К

V. V. Alekseev, P. V. Burdukovskiy
Analytical-experimental method of conducting ECB tests for acoustic noise exposure

В. В. Алексеев, П. В. Бурдуковский
Методология расчетно-экспериментального способа проведения испытаний ЭКБ на воздействие

E. S. Shalashova, O. S. Pivko, I. A. Fateyev, A. M. Galimov, D. V. Matveev, D. V. Kulikov, A. V. Aleksandrov
Designing test crystals for studying methods of ensuring radiation hardness

Е. С. Шалашова, О. С. Пивко, И. А. Фатеев, А. М. Галимов, Д. В. Матвеев, Д. В. Куликов, А. В. Александров
Проектирование тестового кристалла для исследования методов обеспечения радиационной стойкости

A. V. Nuykin, A. S. Kravtsov, K. Ya. Mytnik
Developing ultra-low power universal protected software and hardware platform for IoT devices

А. В. Нуйкин, А. С. Кравцов, К. Я. Мытник
Перспективы развития универсальной защищенной программно-аппаратной платформы со сверхнизким

V. V. Blagodatov, A. S. Kravtsov, A. S. Rudnitskiy, A. V. Nuykin
Estimating actual IC’s resistance to engineering attacks

В. В. Благодатов, А. С. Кравцов, А. С. Рудницкий, А. В. Нуйкин
Оценка стойкости современных микросхем к инженерным атакам

A. I. Rychkov
Low-power controller of OLED microdisplay

А. И. Рычков
СБИС управления микродисплеем на органических светодиодах с низким энергопотреблением

Microwave integrated circuits and modules

СВЧ интегральные схемы и модули

I. F. Filippov, I. V. Kravchenko, D. A. Snegur, V. A. Budnyaev, V. V. Vertegel, Yu. B. Gimpilevich
AESA integrated transceiver modules research and design

И. Ф. Филиппов, И. В. Кравченко, Д. А. Снегур, В. А. Будняев, В. В. Вертегел, Ю. Б. Гимпилевич
Исследование и разработка интегральных приемопередающих модулей АФАР

A. V. Volosov, M. I. Klychnikov, G. Ya. Krasnikov, S. V. Nefediev, P. V. Nefediev, N. A. Shcherbakov, M. D. Pyatochkin
Features of technology for manufacturing silicon commutation boards for microwave modules

А. В. Волосов, М. И. Клычников, Г. Я. Красников, С. В. Нефедьев, П. В. Нефедьев, Н. А. Щербаков, М. Д. Пяточкин
Особенности технологии изготовления кремниевых коммутационных плат для СВЧ-модулей

S. V. Zozulya, A. P. Babkovsky, I. Yu. Michin, E. S. Balobanov
Experience of using modern domestic hardware components in the development of Rosatom State Corporation

С. В. Зозуля, А. П. Бабковский, И. Ю. Мишин, Е. С. Балобанов
Опыт применения современной отечественной ЭКБ в разработках ГК «Росатом»

V. P. Timoshenkov, A. I. Khlybov, D. V. Rodionov, A. I. Panteleev, P. V. Timoshenkov
X-band RF T/R-module heat balance

В. П. Тимошенков, А. И. Хлыбов, Д. В. Родионов, А. И. Пантелеев, П. В. Тимошенков
Тепловой баланс СВЧ T/R-модуля Х-диапазона

N. A. Usachev, D. I. Sotskov, V. V. Elesin, G. N. Nazarova, I. O. Metelkin, G. V. Chukov, A. G. Kuznetsov
Radiation hardening technique for mitigating displacement damage eff ects in A3B5 HBTs microwave functional blocks

Н. А. Усачев, Д. И. Сотсков, В. В. Елесин, Г. Н. Назарова, И. О. Метелкин, Г. В. Чуков, А. Г. Кузнецов
Радиационно-ориентированное проектирование СВЧ функциональных блоков приемопередающих БИС на основе гетероструктурных биполярных транзисторов

K. A. Tsarik, S. D. Fedotov, V. N. Statsenko, E. M. Sokolov, N. V. Turnev
Investigating molecular-beam growth process of heteroepitaxial Ga(Al)N layers on 3C-SiC/Si(111) virtual substrates with on-axis and 4° off -axis orientation

К. А. Царик, С. Д. Федотов, В. Н. Стаценко, Е. М. Соколов, Н. В. Тюрнев
Исследование процесса молекулярно-лучевого роста гетероэпитаксиальных слоев Ga(Al)N на темплейтах 3С-SiC/Si(111) с on-axis- и 4° off -axis-разориентацией

N. E. Ivanova, N. V. Zenchenko, N. V. Shchavruk, E. B. Evlampieva
Features of manufacturing microwave MICs using photolac at formation of ground plane above the crystal active surface

Н. Е. Иванова, Н. В. Зенченко, Н. В. Щаврук, Е. Б. Евлампиева
Особенности изготовления СВЧ МИС с применением фотолака при формировании заземляющей плоскости над активной поверхностью кристалла

Yu. S. Tsyplenkov, V. G. Ovchinnikov
Developing a radar receiver with a large dynamic range for UAV detection

Ю. С. Цыпленков, В. Г. Овчинников
Разработка радиолокационного приемника с большим динамическим диапазоном для обнаружения БПЛА

I. A. Dovbysh, V. A. Shokirov
Developing Q-band power amplifier

И. А. Довбыш, В. А. Шокиров
Разработка усилителя мощности Q-диапазона

D. A. Sukhanov
Modernizing microwave MIC production

Д. А. Суханов
Модернизация производства СВЧ МИС

I. M. Dobush, A. S. Salnikov, A. A. Kalentyev, A. E. Goryainov, A. A. Popov, D. V. Bilevich
Developing techniques and software for microwave monolithic integrated circuit element automatic modeling

И. М. Добуш, А. С. Сальников, А. А. Калентьев, А. Е. Горяинов, А. А. Попов, Д. В. Билевич
Разработка методик и программного обеспечения для автоматического построения моделей базовых элементов СВЧ монолитных интегральных схем

A. A. Glybin, Yu. V. Burtsev, A. Yu. Lychagin, D. V. Cherevan, O. A. Fuzhenko, A. V. Moroz
Flight Testing Research Method for Analyzing Performance of Active Antenna Modules of the Earth Remote Sensing Spacecraft Active Electronically Scanned Antenna Array

А. А. Глыбин, Ю. В. Бурцев, А. Ю. Лычагин, Д. В. Черевань, О. А. Фуженко, А. В. Мороз
Технология комплексных натурных испытаний антенных модулей АФАР

A. A. Shabanov, A. V. Korovin
Evaluating main provisions of methodology for estimating electronic component base critical parameters by comparison of modulators

А. А. Шабанов, А. В. Коровин
Апробация основных положений методики оценки критических параметров электронной компонентной базы на примере сравнения модуляторов

I. I. Mukhin, R. S. Shabardin, L. V. Nedashkovskiy, D. N. Morozov, N. V. Shabardina, I. S. Solovyev
Research into prospects of correcting RF quadrature modulators and demodulators parameters

И. И. Мухин, Р. С. Шабардин, Л. В. Недашковский, Д. Н. Морозов, Н. В. Шабардина, И. С. Соловьёв
Исследование возможности коррекции параметров СВЧ квадратурных модуляторов и демодуляторов

A. P. Babkovsky, A. V. Baranov, V. S. Vasiliev, A. N. Mochanov
Airborne radio-transmitting device

А. П. Бабковский, А. В. Баранов, В. С. Васильев, А. Н. Мочанов
Бортовое радиопередающее устройство с фазовой манипуляцией

Microsystems

Микросистемы

S. P. Timoshenkov, V. V. Kalugin, S. A. Anchutin, N. M. Zariankin, E. S. Kochurina
Features of designing and manufacturing a microaccelerometer sensing device

С. П. Тимошенков, В. В. Калугин, С. А. Анчутин, Н. М. Зарянкин, Е. С. Кочурина
Особенности конструкции и технологии изготовления чувствительного элемента микроакселерометра

A. A. Kovalev, O. Yu. Yakovlev, V. I. Zuev, A. S. Kovalev, Ya. V. Belyaev, S. P. Timoshenkov
Design and technological features of manufacturing micromechanical systems of inertial MEMS sensors

А. А. Ковалев, О. Ю. Яковлев, В. И. Зуев, А. С. Ковалев, Я. В. Беляев, С. П. Тимошенков
Конструктивно-технологические особенности изготовления микромеханических систем инерциальных МЭМС-датчиков

S. Yu. Ivanov, V. E. Turkov, S. A. Ulyanov
Developing digital control system for microelectromechanical gyroscope with ring resonator

С. Ю. Иванов, В. Е. Турков, С. А. Ульянов
Цифровая система управления гироскопа с кольцевым чувствительным элементом

E. F. Pevtsov, A. V. Chuiko, K. A. Grishunin
Simulating solid-state wave gyroscope

Е. Ф. Певцов, А. В. Чуйко, К. А. Гришунин
Моделирование волнового твердотельного гироскопа

S. Yu. Suzdaltsev, D. Yu. Obizhaev, S. Yu. Ivanov, S. A. Zhukova, V. E. Turkov
Applying silicon wafer direct bonding for creating sealed connector of MEMS sensing devices

С. Ю. Суздальцев, Д. Ю. Обижаев, С. Ю. Иванов, С. А. Жукова, В. Е. Турков
Применение прямого сращивания кремниевых пластин для формирования вакуумплотных электрических выводов чувствительных элементов МЭМС

V. V. Amelichev, D. V. Kostyuk, D. V. Vasil’ev, Yu. V. Kazakov, D. A. Zhukov, E. P. Orlov, P. A. Belyakov
Thin-film magnetoresistive microsystems with high steepness of transformation

В. В. Амеличев, Д. В. Костюк, Д. В. Васильев, Ю. В. Казаков, Д. А. Жуков, Е. П. Орлов, П. А. Беляков
Тонкопленочные магниторезистивные микросистемы с высокой крутизной преобразования

S. S. Generalov, V. V. Amelichev, I. V. Godovitsyn, S. A. Polomoshnov, S. V. Nikiforov, D. M. Grigoryev, A. V. Il’kov
Microsystems for transforming acoustic pressure

С. С. Генералов, В. В. Амеличев, И. В. Годовицын, С. А. Поломошнов, С. В. Никифоров, Д. М. Григорьев, А. В. Ильков
Микросистемы преобразования акустического давления

N. A. Dyuzhev, E. E. Gusev, A. A. Dedkova, P. Yu. Glagolev
Investigating mechanical strength of two-layer SiO2/Si3N4 membranes

Н. А. Дюжев, Е. Э. Гусев, А. А. Дедкова, П. Ю. Глаголев
Исследование механической прочности двухслойных мембран SiO2/Si3N4

D. V. Vertyanov, V. N. Sidorenko, M. M. Burakov, I. A. Belyakov
Technologies of Inter-level Interconnection Formation for Manufacturing 3D Microassemblies

Д. В. Вертянов, В. Н. Сидоренко, М. М. Бураков, И. А. Беляков
Технологии формирования межуровневой коммутации для изготовления трехмерных микросборок

D. N. Ivanov
Magnetic fi eld transducer with functional integrated structure

Д. Н. Иванов
Преобразователь магнитного поля с функционально-интегрированной структурой

V. A. Butuzov A. E. Nazarenko N. Yu. Dmitriev A. V. Trofi mov E. A. Smirnov T. V. Smirnova Yu. I. Bocharov V. Yu. Prokopyev O. N. Kus
Digital isolator based on integrated transformer

В. А. Бутузов, А. Е. Назаренко, Н. Ю. Дмитриев, А. В. Трофимов, Е. А. Смирнов, Т. В. Смирнова, Ю. И. Бочаров, В. Ю. Прокопьев, О. Н. Кусь
Цифровой изолятор на основе интегрального трансформатора

N. V. Volkov N. I. Kargin A. S. Timoshenkov
Features of FIB technology application for MEMS nano elements fabrication

Н. В. Волков, Н. И. Каргин, А. С. Тимошенков
Особенности применения FIB-технологии для изготовления наноэлементов МЭМС

V. F. Tupikin Yu. V. Gerasimenko A. S. Ermakova N. V. Komarov V. N. Komarov A. I. Sergienko
Technological features of technochemical wafer processing in technological process of manufacturing MEMS and microassemblies and promising design solutions for their implementation

В. Ф. Тупикин, Ю. В. Герасименко, А. С. Ермакова, Н. В. Комаров, В. Н. Комаров, А. И. Сергиенко
Технологические особенности технохимической обработки пластин в технологическом процессе изготовления МЭМС и микросборок и перспективные конструктивные решения для их реализации

I. M. Malay V. P. Timoshenkov A. M. Rulev
On the necessity of creating microwave power measurement tools based on MEMS technology

И. М. Малай, В. П. Тимошенков, А. М. Рулев
О необходимости создания средств измерений мощности СВЧ на базе технологии МЭМС

A. N. Boyko L. R. Boev S. P. Timoshenkov A. V. Brykin
Studying activation process of TiV getter films

А. Н. Бойко, Л. Р. Боев, С. П. Тимошенков, А. В. Брыкин
Исследование процесса активации газопоглощающих пленок Ti-V

L. I. Dolgovykh A. I. Vinogradov N. M. Zaryankin M. S. Mikhailova A. V. Brykin
Features of eutectic bonding MEMS technology

Л. И. Долговых, А. И. Виноградов, Н. М. Зарянкин, М. С. Михайлова, А. В. Брыкин
Особенности технологии эвтектического сращивания МЭМС

G. V. Prokofiev V. G. Stakhin M. A. Kosolapov
Developing a specialized microcircuit for magnetic precision position sensor based on multipolar magnetic technology

Г. В. Прокофьев, В. Г. Стахин, М. А. Косолапов
Разработка специализированной микросхемы магнитного прецизионного датчика положения на основе многополюсной магнитной технологии

D. A. Dudarev S. P. Panasenko
Remote monitoring and control module for Elbrus servers

Д. А. Дударев, С. П. Панасенко
Модуль дистанционного мониторинга и управления для серверов «Эльбрус»

V. M. Achildiev M. A. Basarab N. A. Bedro V. A. Soldatenkov Yu. K. Gruzevich Yu. N. Evseeva N. S. Konnova A. D. Levkovich V. M. Uspensky
Electroseismocardiography system consisting of a high-resolution electrocardiograph and a seismocardiography system based on micromechanical sensors

В. М. Ачильдиев М. А. Басараб Н. А. Бедро В. А. Солдатенков Ю. К. Грузевич Ю. Н. Евсеева Н. С. Коннова А. Д. Левкович В. М. Успенский
Электросейсмокардиоблок, в составе которого электрокардиоблок высокого разрешения и сейсмокардиоблок на основе микромеханических датчиков

V. A. Soldatenkov Yu. K. Gruzevich V. M. Achildiev V. A. Esakov N. A. Bedro M. N. Komarova A. D. Levkovich
Some features of micromechanical accelerometers errors identifi cation inside microvibration sensor and cardioseismometer unit

В. А. Солдатенков Ю. К. Грузевич В. М. Ачильдиев В. А. Есаков Н. А. Бедро М. Н. Комарова А. Д. Левкович
Некоторые особенности идентификации погрешностей микромеханических акселерометров в составе датчика микровибрации и сейсмокардиоблока

Yu. M. Kernasovskiy I. A. Taratyn D. S. Ryzhkovskaya R. F. Chakukov S. A. Fılatov G. S. Kuchınskıı E. V. Batyrev
Developing the design and manufacturing techniques for test sensitive element of thermal stream sensor based on Seebeck’s effect

Ю. М. Кернасовский И. А. Таратын Д. С. Рыжковская Р. Ф. Чакуков С. А. Филатов Г. С. Кучинский Е. В. Батырев
Разработка конструкции и технологии изготовления тестового чувствительного элемента датчика теплового потока на основе эффекта Зеебека

A. S. Timoshenkov
Trends in modern inertial micromechanical sensors development

А. С. Тимошенков
Тенденции в развитии современных инерциальных микромеханических датчиков

T. V. Krishtop S. V. Kokhanovsky P. V. Dudkin D. A. Zhevnenko A. S. Zlobin A. Yu. Belyaev V. G. Krishtop
Precision hydrophone based on electrochemical pressure transducer

Т. В. Криштоп С. В. Кохановский П. В. Дудкин Д. А. Жевненко А. С. Злобин А. Ю. Беляев В. Г. Криштоп
Высокоточный гидрофон на основе электрохимического преобразователя давления

N. N. Egorov S. A. Golubkov S. D. Fedotov V. N. Statsenko A. A. Romanov V. A. Metlov
Studying electron mobility and volt-ampere characteristics of fi eld-eff ect transistors depending on structural and electrophysical characteristics of ultrathin silicon on sapphire

Н. Н. Егоров С. А. Голубков С. Д. Федотов В. Н. Стаценко А. А. Романов В. А. Метлов
Изучение подвижности электронов и ВАХ полевых транзисторов в зависимости от структурных и электрофизических характеристик ультратонкого кремния на сапфире

D. A. Zhevnenko E. S. Gornev V. O. Kuzmenko P. V. Dudkin S. N. Zhabin T. V. Krishtop V. G. Krishtop
Studying electromigration and total harmonic distortion in planar electrochemical transducers

Д. А. Жевненко Е. С. Горнев В. О. Кузьменко П. В. Дудкин С. Н. Жабин Т. В. Криштоп В. Г. Криштоп
Влияние электромиграции на коэффициент нелинейных искажений планарных электрохимических преобразователей

I. E. Lysenko O. A. Ezhova
Three-axis micromechanical accelerometer in single-chip design with a range of measured linear accelerations ±10 g

И. Е. Лысенко О. А. Ежова
Трехосевой микромеханический акселерометр в однокристальном исполнении с диапазоном измеряемых линейных ускорений ±10 g

D. A. Zhevnenko E. S. Gornev V. O. Kuzmenko S. V. Kokhanovsky P. V. Dudkin S. N. Zhabin V. G. Krishtop
Studying the electrochemical part of the electrochemical transducer transfer function

Д. А. Жевненко Е. С. Горнев В. О. Кузьменко С. В. Кохановский П. В. Дудкин С. Н. Жабин В. Г. Криштоп
Исследование электрохимической части передаточной функции электрохимического преобразователя