Наноиндустрия #8/2016
А.Бенедиктов, Е.Горнев, А.Потупчик, А.Михайлов, А.Смирнов
Особенности работы МОП-транзисторов на основе кремниевых структур при высоких температурах
Исследована работа МОП-транзисторов, выполненных на структурах кремний на изоляторе (КНИ) и на объемном кремнии, в диапазоне температур от –60 до 250 °С. DOI:10.22184/1993-8578.2016.70.8.96.103