Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "hybrid plasma system"

Наноиндустрия #8/2016
А.Айрапетов, Е.Кралькина, П.Неклюдова, В.Одиноков, В.Павлов, Г.Павлов, В.Сологуб
Установка с гибридным плазменным реактором

Рассмотрена конструкция установки для ионно-стимулированного формирования одно- и многокомпонентных металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев. DOI:10.22184/1993-8578.2016.70.8.104.108