Наноиндустрия #8/2016
А.Айрапетов, Е.Кралькина, П.Неклюдова, В.Одиноков, В.Павлов, Г.Павлов, В.Сологуб
Установка с гибридным плазменным реактором
Рассмотрена конструкция установки для ионно-стимулированного формирования одно- и многокомпонентных металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев. DOI:10.22184/1993-8578.2016.70.8.104.108