Наноиндустрия #1/2017
А.Ахметова, Ю.Белов, Г.Мешков, И.Яминский
Системы 3D-позиционирования в точной обработке материалов
Развитие техники сканирующей зондовой микроскопии позволило решить ряд сложных задач по перемещению и обработке объектов с нанометровой точностью. Такая возможность востребована в современных областях прецизионной обработки материалов. DOI:10.22184/1993-8578.2017.71.1.102.104