Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "reactor"

Электроника НТБ #10/2021
Д. Суханов
ОПТИМИЗАЦИЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СОВРЕМЕННОМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ ПРОИЗВОДСТВЕ. Часть 2

DOI: 10.22184/1992-4178.2021.211.10.152.157 Рассмотрены гальванические процессы, применяемые в современном полупроводниковом производстве. Приведена информация о различных способах оптимизации таких процессов.

Электроника НТБ #9/2021
Д. Суханов
ОПТИМИЗАЦИЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СОВРЕМЕННОМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ ПРОИЗВОДСТВЕ. Часть 1

DOI: 10.22184/1992-4178.2021.210.9.86.93 Рассмотрены гальванические процессы, применяемые в современном полупроводниковом производстве. Приведена информация об основных принципах и способах оптимизации таких процессов.

Аналитика #4/2019
Н. А. Петушков
Химические лабораторные реакторы высокого давления: основные характеристики и области применения

DOI: 10.22184/2227-572X.2019.09.4.312.313 Описаны характеристики химических реакторов высокого давления двух типов: традиционной конструкции и с применением сверхкритической флюидной экстракции. Обсуждаются их возможности и области применения, отмечены преимущества реакторов второго типа. Приведены примеры практического использования в различных приложениях. Особое внимание уделено мерам безопасности и автоматизации процесса экстракции.

Наноиндустрия #9/2018
Герасименко Юлия Владимировна, Сергиенко Анатолий Иванович, Ермаков Александр Николаевич, Ермакова Александра Сергеевна, Вертянов Денис Васильевич
Новые конструкторско-технологические решения технохимических операций изготовления элементов МЭМС и микросборок

Современные микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой миниатюрные сложные устройства, выполненные по технологии объемной микромеханики. Каждый этап технохимической обработки в процессе изготовления МЭМС: очистка, отмывка, травление, осаждение металлических покрытий — предполагает наличие определенных требований к чистоте проводимых операций и к размерам объектов микромашин. Проведение операций технохимии на традиционном оборудовании групповой обработки имеет некоторые недостатки, к которым относят неравномерность обработки пластин из-за их взаимного близкого расположения, накопление загрязнений в рабочем растворе с возможным последующим загрязнением обрабатываемых пластин, снижение концентрации рабочего раствора при обработке серии пластин. Разработка российского оборудования индивидуальной обработки пластин и подложек для осуществления операций технохимической обработки при изготовлении МЭМС и микросборок является актуальной задачей, требующей новых конструкторских и технологических решений, отвечающих требованиям и особенностям технологического процесса изготовления МЭМС и оптимизированных с точки зрения энергопотребления, габаритов, расхода реактивов и т. п. УДК 66.06 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.532.537

Аналитика #2/2017
К.Гордеев, И.Шахнович, А.Шишкин
Oт контроля продукции до культивирования клеток. Передовые решения на выставке analytica 2016

В заключительной части репортажа с международной выставки аналитического и лабораторного оборудования analytica 2016 (Мюнхен) ведущие мировые компании-приборостроители рассказывают о наиболее интересных и перспективных инструментальных решениях в области элементного анализа, наук о жизни, нанотехнологий и пробоподготовки. DOI: 10.22184/2227-572X.2017.33.2.38.65