Наноиндустрия #4/2017
А.Усеинов, И.Маслеников, А.Русаков, Е.Гладких, Б.Логинов, В.Логинов, А.Елкин
Измерение профилей деталей сложной формы с помощью сканирующего нанотвердомера
Составные части механизмов, имеющие криволинейные поверхности, требуют строгого контроля формы. Для решения таких задач применяются приборы, основанные на контактных или бесконтактных методах. В данной работе методом контактной профилометрии при помощи сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-4D" были измерены профили пресс-форм, применяемых при синтезе монокристаллов алмаза в процессе HPHT-роста. УДК 681.2.083 ВАК 05.11.13 DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.38.44