Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "nanosize effect"

Наноиндустрия #4/2017
Н.Герасименко, А.Волоховский, О.Запорожан
Учет особенностей изменения свойств материала в технологии кремниевых наноструктур

Рассматриваются особенности изменения физических свойств элементов структуры при их уменьшении до наноразмеров и перспективы использования этих эффектов в технологиях микроэлектроники. УДК 54-1 ВАК 05.27.01 DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.84.103