Наноиндустрия #5/2017
И.Пылев, И.Яминский
Эталон нанометра
Одна из проблем нанометрологии заключается в создании простого и доступного эталона длины в нанометровом диапазоне. На данный момент не существует малогабаритного эталона длиной ровно в 1 нм, с помощью которого можно было бы проводить калибровку сканирующего зондового микроскопа непосредственно в процессе сканирования. Его создание значительно упрощает процесс калибровки микроскопа, а сам эталон служит прочным метрологическим фундаментом для развития перспективных нанотехнологий. УДК 531.711 ВАК 05.02.23 DOI: 10.22184/1993-8578.2017.76.5.52.57