Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "vacuum deposition"

Наноиндустрия #6/2017
Л.Колесник, К.Моисеев, Ю.Панфилов, В.Рябов, С.Сидорова
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме

Рассмотрены вакуумные установки для нанесения тонких пленок с автоматическим управлением, встроенным в систему удаленного доступа. На установках реализованы методы термического, магнетронного, ионно-лучевого и газофазного осаждения наноструктурированных тонкопленочных покрытий. Разработаны методическое обеспечение для подготовки к выполнению лабораторных работ и виртуальный симулятор для обучения практической работе на установке. УДК 621.793 ВАК 05.16.08 DOI: 10.22184/1993-8578.2017.77.6.76.82