Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "вентилятор"

Наноиндустрия #6/2011
В.Надоленко
Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве

В процессах микроэлектронного производства часто используются различные газы и соединения. Большая часть этих веществ агрессивна и токсична, поэтому просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя. Вопрос очистки использованного в производстве воздуха выливается в серьезную инженерную задачу, требующую специфических решений и оборудования.