Электроника НТБ #1/2024
А. Хисамов, А. Назаренко
МИНИФАБЫ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ: ИСТОРИЯ И ВОЗМОЖНОСТИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69 В последнее время в России и за рубежом был создан ряд проектов минифабов для микроэлектронного производства. В статье рассмотрена концепция минифабов и перспективы реализации проектов в этой области.
Электроника НТБ #6/2023
И. Крупенин
СОВРЕМЕННЫЙ БИЗНЕС ТРЕБУЕТ ГИБКОГО ПОДХОДА И СКОРОСТИ РЕАКЦИИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.227.6.38.40
Электроника НТБ #2/2023
Н. Шелепин
ГЛОБАЛИЗАЦИЯ И МОНОПОЛИЗАЦИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В СОВРЕМЕННЫХ УСЛОВИЯХ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.32.42 В статье рассмотрено современное состояние производства полупроводников в мире, тенденции и перспективы развития микроэлектронных технологий в различных регионах. Описаны беспрецедентные усилия США по возврату ведущих микроэлектронных производств на свою территорию и меры по противодействию развития технологий в Китае.
Наноиндустрия #6/2011
В.Надоленко
Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве
В процессах микроэлектронного производства часто используются различные газы и соединения. Большая часть этих веществ агрессивна и токсична, поэтому просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя. Вопрос очистки использованного в производстве воздуха выливается в серьезную инженерную задачу, требующую специфических решений и оборудования.