Наноиндустрия #9/2018
Кондрашов Владимир Владимирович, Чапкин Вячеслав Вячеславович, Лукашенков Анатолий Викторович, Копылов Андрей Валерьевич, Середин Олег Сергеевич
Построение системы моделирования и управления процессом лазерной подгонки пленочных резисторов в микроэлектронике
В статье описано построение системы моделирования и управления процессом лазерной подгонки резистивных элементов на основе сеточных схемных моделей и методов анализа изображений. Подробно рассмотрены подходы к решению задач, возникающих при автоматизации процесса подгонки. УДК 62-5; 004.942; 004.932.2 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.211.216