Электроника НТБ #3/2024
А. Усатов, П. Ляхов
КАК СОЗДАТЬ ЧИСТОЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПОМЕЩЕНИЕ. ТЕХНОЛОГИИ И ОБОРУДОВАНИЕ
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.234.3.216.222 Чистые помещения в электронной промышленности играют ключевую роль при обеспечении высокого качества изделий. В статье рассматриваются технологические решения и оборудование при создании чистых помещений и локальных чистых зон в высокотехнологичных отраслях промышленности.
Наноиндустрия #9/2018
Быков Александр Викторович, Высоких Юрий Евгеньевич, Картавцев Владимир Сергеевич, Краснобородько Сергей Юрьевич
Требования к инженерной инфраструктуре создаваемых производств микро- и наноэлектронных компонентов
При проектировании современных производств микро- и наноэлектронных компонентов необходимо учитывать ряд требований, от которых зависит правильная работа инженерных систем и возможность создания производства. УДК 697.941/624.92.01 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.217.219