Наноиндустрия #9/2018
Марьина Елена Владимировна, Имаметдинов Эмиль Фэридович, Краснюк Андрей Анатольевич
Моделирование многозатворных транзисторных структур с островками легирования в канале
Разработана и исследована референсная модель для анализа SGMOS (split gate MOS) транзисторов. Показано, что применение расщепленного затвора вполне эффективно в модуляционно-легированных структурах класса PDCFET. Снижение крутизны, быстродействия и изменение ВАХ транзисторных структур не носит катастрофический характере вплоть до температур 200–250 °C… УДК 621.382+621.396.6 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.229.233