Наноиндустрия #9/2018
Красников Геннадий Яковлевич, Гущин Олег Павлович, Литаврин Михаил Владимирович, Горнев ЕвгениЙ Сергеевич
Комплементарные методы усиления разрешения оптической литографии
Рассмотрен метод DSA, его основные принципы и актуальные проблемы. Рассмотрен метод ML2 и его актуальные проблемы. Обоснована перспективность комплементарных методов для российской микроэлектроники. УДК 621.384 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.236.237