Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "single-crystal silicon"

Электроника НТБ #4/2019
П. Григорьев, С. Милешин, Т. Цивинская
Исследование влияния защиты компаундом СИЭЛ на стабильность функционирования контрольно- измерительных МЭМС-сенсоров

Обсуждается одна из проблем разработки и производства измерительных датчиков на базе высокочувствительных сенсоров, изготовленных по технологиям микроэлектроники: защита МЭМС-сенсоров на базе монокристаллического кремния от воздействия окружающей среды. Приводятся результаты исследований указанной направленности по пьезорезистивным датчикам, проведенных в МГТУ им. Баумана. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.185.4.132.138 УДК 681.586 ВАК 05.11.14

Наноиндустрия #9/2018
Власов Андрей Игоревич, Милешин Сергей Андреевич, Цивинская Татьяна Анатольевна
Анализ дефектов сенсорных кристаллов монокристаллического кремния и технологий производства

В данной работе представлены возможные проблемы текущего производства кристаллов для создания чувствительных элементов систем датчиков из монокристаллического кремния. Показаны различные методы разработки с учетом настоящих технологических ограничений структур для высокоточных контрольно-измерительных приборов измерения физических величин. Проанализированы дефекты кристаллической решетки, появляющиеся при производстве чувствительных элементов, и их влияние на характеристики контрольно-измерительных сенсоров. Представлены типовые схемы производства сенсорных элементов. УДК 681.3 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.238.245