Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "sensitive element"

Наноиндустрия #9/2018
Волкова Екатерина Ивановна, Манин Павел Александрович, Попков Сергей Алексеевич
Способ минимизации механических напряжений в чувствительном элементе микромеханических устройств при монтаже в корпус

В работе рассматриваются результаты исследований механических напряжений, возникающих в чувствительном элементе (ЧЭ) при его монтаже в корпус. Осуществляется поиск конструкции опорного кристалла, который при температурных изменениях позволяет минимизировать механические напряжения, обеспечивая механическую развязку между самим ЧЭ и корпусом прибора. УДК 621.3.084.2/621.3.032.5 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.544.551

Наноиндустрия #9/2018
Власов Андрей Игоревич, Милешин Сергей Андреевич, Цивинская Татьяна Анатольевна
Анализ дефектов сенсорных кристаллов монокристаллического кремния и технологий производства

В данной работе представлены возможные проблемы текущего производства кристаллов для создания чувствительных элементов систем датчиков из монокристаллического кремния. Показаны различные методы разработки с учетом настоящих технологических ограничений структур для высокоточных контрольно-измерительных приборов измерения физических величин. Проанализированы дефекты кристаллической решетки, появляющиеся при производстве чувствительных элементов, и их влияние на характеристики контрольно-измерительных сенсоров. Представлены типовые схемы производства сенсорных элементов. УДК 681.3 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.238.245