Наноиндустрия #9/2018
Яшин Георгий Алексеевич, Глушко Андрей Александрович, Чистяков Михаил Геннадьевич, Макарчук Владимир Васильевич, Новоселов Антон Сергеевич, Амирханов Алексей Владимирович, Зинченко Людмила Анатольевна
Разработка и исследование SPICE-модели 0,35 мкм КНИ МОП-транзистора с геометрией затвора F-типа с применением системы приборно-технологического моделирования TCAD
С применением системы приборно-технологического моделирования TCAD разработана и исследована SPICE-модель МОП-транзистора с геометрией затвора F-типа, производимого по технологии КНИ с минимальной проектной нормой 0,35 мкм. На основе полученных в результате приборно-технологического моделирования данных объяснены физические эффекты, проявившиеся при его функционировании, и разработана концепция создания его SPICE-модели. УДК 004.942 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.430.434
Наноиндустрия #9/2018
Кононов Алексей Андреевич, Пугачёв Андрей Алексеевич, Соколов Сергей Викторович
Проектирование фоточувствительных СБИС с анализом разрешающей способности
Разработаны алгоритмы проектирования фоточувствительных СБИС с обеспечением требований к их разрешающей способности. Алгоритмы построены на базе методов приборно-технологического моделирования с применением комплекса Sentaurus TCAD (Synopsys). Алгоритмы применены при проектировании ФЧ СБИС на предприятии электронной отрасли. УДК 621.397.01 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.406.409
Наноиндустрия #9/2018
Глушко Андрей Александрович, Яшин Георгий Алексеевич, Новоселов Антон Сергеевич, Амирханов Алексей Владимирович, Зинченко Людмила Анатольевна, Макарчук Владимир Васильевич, Сергеева Наталья Алексеевна
Применение визуальной аналитики и систем приборно- технологического моделирования при управлении качеством технологических процессов формирования кристаллов СБИС
методика применения средств визуальной аналитики для управления качеством технологических процессов формирования кристаллов СБИС. Рассмотрено применение предложенной методики управления качеством на примерах обнаружения неисправности имплантера и проектирования тестовой структуры контроля сопротивления LDD-областей. УДК 004.942 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.376.384