Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "визуальная аналитика"

Наноиндустрия #9/2018
Глушко Андрей Александрович, Яшин Георгий Алексеевич, Новоселов Антон Сергеевич, Амирханов Алексей Владимирович, Зинченко Людмила Анатольевна, Макарчук Владимир Васильевич, Сергеева Наталья Алексеевна
Применение визуальной аналитики и систем приборно- технологического моделирования при управлении качеством технологических процессов формирования кристаллов СБИС

методика применения средств визуальной аналитики для управления качеством технологических процессов формирования кристаллов СБИС. Рассмотрено применение предложенной методики управления качеством на примерах обнаружения неисправности имплантера и проектирования тестовой структуры контроля сопротивления LDD-областей. УДК 004.942 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.376.384