Наноиндустрия #9/2018
Аристов Роман Сергеевич, Власов Андрей Игоревич, Вирясова Анастасия Юрьевна, Гладких Алексей Алексеевич, Макарчук Владимир Васильевич
Исследование различных моделей сверточных нейронных сетей для классификации изображений дефектов топологического рисунка СБИС
Рассмотрены различные современные модели нейронных сетей, произведено их обучение и приведены результаты экспериментальных исследований использования каждой модели для классификации дефектов топологии СБИС. Описан метод использования нейронных сетей для детектирования объектов на изображении, и приведен результат применения данного метода для дефектов топологии СБИС. УДК 004.94 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.392.398