Наноиндустрия #9/2018
Аболдуев Игорь Михайлович, Борисов Олег Валерьевич, Герасимов Андрей Олегович, Колковский Юрий Владимирович, Миннебаев Вадим Минхатович, Осиповский Алексей Алексеевич, Редька Алексей Владимирович, Редька Андрей Владимирович, Тихомиров Александр Владимиров
Антенные модули для АФАР Х-диапазона
УДК 621.3 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.505.510
Наноиндустрия #9/2018
Волосов Анатолий Викторович, Бавижев Михаил Данильевич, Котляров Евгений Юрьевич, Панасенко Петр Васильевич
Приемопередающий модуль Х-диапазона на кремниевой коммутационной плате
Работа посвящена разработке конструкции и технологии изготовления кремниевой коммутационной платы (ККП), а также экспериментальным исследованиям приемопередающего модуля (ППМ) Х-диапазона, реализованного на ее основе. Показано, что наряду с «классической» TSV технологией, для изготовления ККП могут быть использованы оригинальные конструктивно-технологические решения, доступные для российских кремниевых производств. Рассмотрен один из конструктивно-технологических вариантов, реализованный в ПАО «Микрон» и АО «НПП «Радий», приведены результаты экспериментальных исследований ППМ Х-диапазона на кремниевой коммутационной плате. Показано, что рассмотренное конструктивно-технологическое решение позволяет достичь многократного улучшения массогабаритных показателей ППМ при сохранении электрических параметров по отношению к его реализации на основе низкотемпературной керамики или на многослойных полимерных печатных платах. УДК 621.3.049.776.422:621.396.96 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.441.442