Наноиндустрия #6/2021
В.Е.Полковников, А.В.Строгонов, Т.Г.Меньшикова, А.А.Карионова
Синтез пленок Zn2SNO4, осажденных с применением спрей-пиролиз-технологии, и их применение в газовых датчиках NO2 для прибора диагностики бронхиальной астмы
DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6.350.360 Описана спрей-пиролиз-технология осаждения из водных растворов солей металлов, поликристаллической пленки Zn2SnO4 с размером зерна 9 нм, вычисленным по формуле Шеррера. Нанесение пленки происходило распылением смеси растворов солей металлов на нагретую до 420 °С стеклянную подложку. Найден оптимальный режим нанесения и произведен контроль состава полученной структуры с помощью рентгенофазового анализа. Морфология поверхности пленки изучалась методом атомно-силовой микроскопии. Измерения электрических параметров пленки производились методом Ван-дер-Пау и с помощью эффекта Холла. Измерены удельное сопротивление пленки, тип проводимости, концентрация и подвижность носителей зарядов. Ширина запрещенной зоны определялась по спектрам поглощения света. С помощью полученной информации о составе и морфологии аналитическим путем на основе литературных и расчетных данных сделан вывод о возможности использования данного материала для сверхчувствительного датчика экспресс-контроля NO2 для прибора диагностики бронхиальной астмы.
Наноиндустрия #9/2018
Иванова Наталья Евгеньевна, Щаврук Николай Васильевич, Трофимов Александр Александрович, Кондратенко Владимир Степанович
Особенности разделения на кристаллы СВЧ МИС на сапфировых подложках
Статья посвящена исследованиям по разделению на кристаллы СВЧ МИС на основе гетероструктур AlGaN/GaN, изготовленных на подложках сапфира, а также имеющих развитый рельеф и обладающих сложными конструктивными особенностями. Приведена краткая характеристика метода защиты таких МИС, режимы утонения и резка на кристаллы с применением метода ЛУТ. Проведены электрофизические исследования СВЧ МИС на пластине и после разделения на отдельные кристаллы. УДК 621.382 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.445.452