Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "защита свч мис"

Наноиндустрия #9/2018
Иванова Наталья Евгеньевна, Щаврук Николай Васильевич, Трофимов Александр Александрович, Кондратенко Владимир Степанович
Особенности разделения на кристаллы СВЧ МИС на сапфировых подложках

Статья посвящена исследованиям по разделению на кристаллы СВЧ МИС на основе гетероструктур AlGaN/GaN, изготовленных на подложках сапфира, а также имеющих развитый рельеф и обладающих сложными конструктивными особенностями. Приведена краткая характеристика метода защиты таких МИС, режимы утонения и резка на кристаллы с применением метода ЛУТ. Проведены электрофизические исследования СВЧ МИС на пластине и после разделения на отдельные кристаллы. УДК 621.382 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.445.452