Наноиндустрия #9/2018
Баранов Александр Александрович, Жукова Светлана Александровна, Обижаев Денис Юрьевич, Турков Владимир Евгеньевич
Катушка индуктивности, изготовленная по МЭМС-технологии
В настоящем докладе рассмотрены особенности формирования трехмерной катушки индуктивности с ферромагнитным сердечником по технологии МЭМС, имеющей высокое аспектное соотношение столбчатых выводов, а также представлены результаты исследования ее основных характеристик. УДК 621.391:004 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.511