Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "surface micromachining"

Наноиндустрия #9/2018
Баранов Александр Александрович, Жукова Светлана Александровна, Обижаев Денис Юрьевич, Турков Владимир Евгеньевич, Воробьев Алексей Д., Лагун Александр Михайлович, Машевич Павел Романович, Трудновская Евгения Андреевна
Миниатюрный двухосевой микромеханический акселерометр в однокристальном исполнении с диапазоном измеряемых ускорений ±10 м/с2

В настоящем докладе рассмотрены особенности конструкции и технологии изготовления, а также основные характеристики двухосевого микромеханического акселерометра в однокристальном исполнении. Показана возможность герметизации чувствительного элемента на этапе формирования при помощи кремниевой капсулы. УДК 53.087.92 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.512.513