sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)
Книги по нанотехнологиям
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Пантелеев В., Егорова О., Клыкова Е.
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Тег "механическая прочность"
Наноиндустрия #9/2018
Гусев Евгений Эдуардович, Дедкова Анна Александровна, Дюжев Николай Алексеевич
Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин
Представлена конструкция для определения механической прочности, механических напряжений и модуля упругости. Работа устройства проверена на круглых мембранах из оксида и нитрида кремния различного диаметра. Величина двухосного модуля получена аналитическим методом и рассчитана на основе экспериментальных данных. Наблюдается хорошая корреляция между полученными результатами. Показана упругая деформация при избыточном давлении не более 0,6 атм. Определено критическое давление для каждого диаметра. Показано, что круглые мембраны различного диаметра выдерживают одинаковое значение внешней силы. УДК 53.043 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.538.541
Разработка: студия Green Art