Наноиндустрия #9/2018
Новиков Дмитрий Валерьевич, Онуфриенко Андрей Петрович, Гусев Евгений Эдуардович, Дюжев Николай Алексеевич
Тепловые преобразователи физических величин
В современном мире, где сенсоры являются неотъемлемой частью практически любого электронного устройства, требования к преобразователям физических величин постоянно растут. Технология МЭМС давно зарекомендовала себя в сфере производства датчиков, что позволяет на основе имеющихся технологических решений в дальнейшем совершенствовать параметры их работы. В данной работе рассматривается семейство тепловых преобразователей физических величин, а также предлагаются различные подходы по их оптимизации. УДК 681.121 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.552.553