Наноиндустрия #9/2018
Шелепин Николай Алексеевич
Особенности элементной базы СБИС на основе технологии КМОП КНИ с полным обеднением
Рассмотрено развитие конструкций компонентов СБИС на технологических уровнях ниже 28 нм. Отмечено, что уровень 28 нм был последним, в котором были реализованы планарные транзисторы. Далее образовалось два направления трехмерных транзисторов: FinFET и FD SOI. Показаны их основные различия и особенности. Представлены результаты моделирования характеристик КНИ транзисторов с полным обеднением. УДК 621.382 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.46.48