Наноиндустрия #2/2012
М.Белкин, А.Сигов
Исследование проблем при создании оптических межсоединений
Преимущества оптоэлектронного подхода позволяют сделать вывод о его перспективности для замены электрических межсоединений в кремниевых ИС. Однако при его широком внедрении возникают серьезные технико-экономические проблемы. Этот подход, известный уже более 20 лет, все еще находится на начальной стадии технологического развития в части его применения в гибридных ИС и монолитных ИС.
Наноиндустрия #1/2012
М.Белкин, А.Сигов
Оптические межсоединения в интегральных схемах
Исследуется применение оптоэлектронного подхода для формирования соединительных линий между кристаллами и внутри кристаллов больших цифровых и аналоговых интегральных микросхем (ИС) на кремниевых подложках. Рассмотрены наиболее близкие к практической реализации методы межсоединений в гибридных и монолитных ИС, анализируются потенциальные преимущества и проблемы оптоэлектронного подхода.