Наноиндустрия #1/2012
K.Gogolinskiy, A.Useinov, A.Kuznetsov, V.Reshetov, S.Golubev
Метрологическое обеспечение измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
В работе обсуждается задача обеспечения прослеживаемости измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне сканирующей зондовой микроскопией (СЗМ) к первичному эталону метра. Описывается сканирующий зондовый микроскоп "НаноСкан-3Di" с интегрированным трехкоординатным лазерным гетеродинным интерферометром. Рассмотрены особенности применения сверхострых алмазных наконечников для получения профиля поверхности методами СЗМ в сравнении со стандартными кремниевыми кантилеверами.