Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "x-ray optical methods"

Наноиндустрия #7-8/2018
Д.Петраков, Н.Герасименко, Н.Медетов, Д.Смирнов, Р.Суюндуков
Анализ структурных свойств и параметров объектов с использованием комплексного подхода обработки данных рентгенооптических измерений

Комплексно исследованы тонкопленочные микроэлектронные структуры low-k-диэлектриков и диффузионно-барьерных слоев TiN несколькими рентгенооптическими методами. Это разрешит неоднозначности типа "плотность – шероховатость", возникающие при решении обратных рентгеновских задач и выявит особенности формирования исследованных структур. Создан аналитический комплекс, объединенный самосогласованной обработкой данных нескольких методов измерений. Планируется адаптация к методам рентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализа для исследования элементного и фазового состава, включая анализ рудных полезных ископаемых. DOI: 10.22184/1993-8578.2018.11.7-8.534.541