sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)
Книги по нанотехнологиям
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Тег "target"
Наноиндустрия #2/2019
В.В.Одиноков, Р.А.Каракулов, В.В.Панин, А.В.Шубников
Нанесение многослойных функциональных тонких пленок методом магнетронного распыления на установке "МАГНА ТМ 150-01К"
Представлена разработка ОАО "НИИ точного машиностроения" – вакуумная установка "МАГНА ТМ 150-01К", устройство и принцип работы. На ней реализован технологический процесс нанесения многослойных тонких пленок на кремниевые пластины диаметром 100–150 мм магнетронным распылением. Покрытия наносились в едином вакуумном цикле с трех мишеней с загрузкой и выгрузкой пластин из кассеты в кассету в шлюзовой камере, встроенной в чистое помещение. Слои титана и нитрида титана наносились последовательно из одной мишени, слой алюминия наносился из двух алюминиевых мишеней. DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.96.100
Разработка: студия Green Art