Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "тройной полосовой фильтр"

Наноиндустрия #2/2019
Б.Бончев, М.Шнайдер, И.Фель, Д.Никулин, В.Васильев
Полосовые фильтры, произведенные с помощью системы напыления EOSS® – усовершенствованная промышленная система для напыления высококачественных оптических покрытий

Представлены результаты напыления различных полосовых фильтров – ИК-фильтр и тройной полосовой фильтр, полученных в установке Star.EOSS производства компании FHR. Нанесение пленок путем ионного распыления металлов в магнетронном разряде приводит к неравномерности пленок по толщине менее 0,25% (3 сигма) на подложках с диаметром от 200 до 300мм. DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.136.139