Наноиндустрия #5/2020
Д.Г.Мустафаева
Анализ и исследование материаловедческих и технологических факторов при создании пленочных преобразователей
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.304.307 Проведены анализ и исследование материаловедческих и технологических факторов при создании пленочных преобразователей, определены требования к материалам и их свойствам, технологии формирования элементов преобразователя. Показано, что учет материаловедческих и технологических факторов обеспечивает соответствие параметров изделия требуемым, устойчивость к внешним факторам, получение пленок исходного состава и стабильность технологии производства.
Наноиндустрия #6/2019
М.Г.Мустафаев, Д.Г.Мустафаева, Г.А.Мустафаев
Формирование многоуровневой системы межсоединений и повышение воспроизводимости процесса при создании элементов интегральной электроники
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.6.338.341 Показано формирование многоуровневой системы межсоединений (МСМ) в элементах интегральной электроники, определены влияющие факторы, пути снижения внутренних напряжений и обеспечение адгезии. Показано, что МСМ обеспечивает создание надежных и стабильных элементов и воспроизводимость получения МСМ.