Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "laser ablation"

Аналитика #1/2023
Е. С. Шитова, Ф. В. Макаров, А. А. Перцев, А. П. Пономаренко, А. А. Штраус
Особенности и направления развития метода лазерной абляции для синтеза наночастиц

https://doi.org/10.22184/2227-572X.2023.13.1.48.54 В статье представлен аналитический обзор литературы, касающейся особенностей процесса лазерной абляции для синтеза наночастиц. Показана перспективность метода лазерной абляции, позволяющего обеспечить заданные требования к характеристикам наночастиц. Приведены основные факторы, влияющие на получаемые наночастицы, такие как параметры лазера (источник, длина волны, флюенс, длительность и частота импульса), материал и геометрические характеристики мишени, состояние окружающей среды (жидкость, газовая среда, вакуум). Определены тенденции развития метода.

Наноиндустрия #6/2021
А.Быкова, И.Род, К.Битаров, А.Казачков, Я.Минаева, К.Ракетов, В.Трушин, А.Фролова, Д.Подгорный, Д.Шамирян
Методика удаления кремниевых поверхностных микродефектов лазерной абляцией

DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6.342.349 Одним из ограничивающих факторов непрерывного повышения доли выхода годных микроразмерных изделий на МЭМС-производствах является ненулевой средний уровень плотности загрязнений производственных инфраструктур. Этот фактор влияет на появление поверхностных дефектов в конечных изделиях, которые могут нарушать функциональность сенсора, датчика. В работе предлагается метод постобработки готовых чувствительных элементов по удалению кремниевых дефектов без нарушения целостности изделия для перевода бракованного изделия в класс годных. Апробация предложенного метода на МЭМС-производстве ООО "МАППЕР" показала, что результативность метода удаления дефектов прецизионным лазерным испарением материала достигает 77% для партии обработанных элементов. Показатель результативности может быть увеличен за счет дальнейшей автоматизации процессов.

Аналитика #1/2020
М. А. Большов
Лазеры в аналитической спектроскопии

DOI: 10.22184/2227-572X.2020.10.1.54.66 В основу статьи положен пленарный доклад автора на III Всероссийской конференции по аналитической спектроскопии. Приведен краткий обзор использования лазерного излучения в аналитической спектроскопии. Рассмотрены методы, основанные на резонансном селективном возбуждении свободных атомов аналита излучением лазеров с узкой спектральной шириной линии. Обсуждены проблемы, по которым методы лазерного селективного детектирования элементов уступили эмиссионной и масс-спектрометрии с использованием индуктивно связанной плазмы (ИСП-АЭС и ИСП-МС). Подробно рассмотрены методы прямого анализа твердых образцов с помощью лазерной абляции – испарения материала образца в фокальном пятне мощного лазерного импульса, сфокусированного на поверхности пробы. Описаны достоинства и ограничения лазерно-индуцированной эмиссионной спектроскопии и комбинированного метода ЛА-ИСП-МС. В заключительной части обсуждается метод абсорбционной спектроскопии с перестраиваемыми диодными лазерами (ДЛАС). Сложилась достаточно широкая область аналитических задач, где успешно используется метод ДЛАС – от бесконтактной диагностики горячих зон до диагностики заболеваний по выдыхаемому воздуху пациента.