Наноиндустрия #5/2020
Р.В.Клейманов, С.Е.Александров
Аэродинамический высокопроизводительный распылитель жидких реагентов на основе сопла Лаваля
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.264.274 В статье предлагается высокопроизводительное устройство для подачи жидкого реагента в установку для химического осаждения высокочистого кварца в пламени. Подача жидкого кремнийсодержащего реагента осуществляется путем преобразования его в аэрозоль при помощи аэродинамического распылителя с плоским соплом Лаваля с внутренним телом. Разработанная конструкция позволяет достичь больших расходов жидкого реагента путем изменения сечений сопла для регулировки скорости газа-распылителя. Предложенная конструкция отличается более высокой технологичностью и простотой изменения расхода реагента в широких пределах, в отличие от распространенных коаксиальных конструкций сопел.