Наноиндустрия #5/2020
М.Д.Андреев, В.А.Ковалев, В.В.Амеличев, С.С.Генералов, А.В.Николаева, С.А.Поломошнов, А.М.Гаськов, В.В.Кривецкий
Синтез ультрадисперсного диоксида олова распылительным пиролизом в пламени для струйной печати чувствительных элементов полупроводниковых газовых сенсоров
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.276.283 Методом струйной печати из устойчивых суспензий на поверхности МЭМС-структур с микронагревателем сформированы толстопленочные слои на основе нанокристаллического SnO2 с равномерной пористой структурой. Описаны параметры газовой чувствительности полученных материалов.