Наноиндустрия #6/2020
А.В.Шведов, В.М.Елинсон, П.А.Щур
Физико-химические свойства углеродных и фторуглеродных покрытий, полученные осаждением из газовой фазы при атмосферном давлении в динамическом режиме нанесения
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.6.364.371 В работе показана возможность формирования углеродных и фторуглеродных покрытий в непрерывном (динамическом) режиме осаждения из газовой фазы при атмосферном давлении с использованием низкочастотного плазмотрона низкотемпературной плазмы. Установлен контактный угол смачивания полученных покрытий, и проведено исследование с помощью АСМ.