Наноиндустрия #5/2021
А.Ю.Никифоров, М.С.Горбунов, А.А.Смолин, Д.В.Бойченко, Г.Г.Давыдов
Эволюция радиационного поведения субмикроэлектронных устройств при снижении проектных норм и особенности развития инфраструктуры испытаний и исследований
DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.5.298.310 В аналитическом обзоре рассмотрены особенности радиационного поведения современных субмикронных микроэлектронных приборов при снижении проектных норм, а также перспективы развития обеспечивающей инфраструктуры для радиационных испытаний.