Электроника НТБ #8/2024
Д. Пермяков, А. Строгонов, В. Небольсин, М. Белых
РЕВЕРСИВНЫЙ РОСТ ПИРОЛИТИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ZnO
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.239.8.108.111 Одним из широко используемых методов синтеза оксида цинка является спрей-пиролиз, который отличается низкой стоимостью, относительной простотой и высокой скоростью процесса. Статья посвящена исследованию явлений в процессе роста пленки ZnO при синтезе методом пневматического спрей-пиролиза из раствора ацетата цинка.
Наноиндустрия #6/2021
В.Е.Полковников, А.В.Строгонов, Т.Г.Меньшикова, А.А.Карионова
Синтез пленок Zn2SNO4, осажденных с применением спрей-пиролиз-технологии, и их применение в газовых датчиках NO2 для прибора диагностики бронхиальной астмы
DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6.350.360 Описана спрей-пиролиз-технология осаждения из водных растворов солей металлов, поликристаллической пленки Zn2SnO4 с размером зерна 9 нм, вычисленным по формуле Шеррера. Нанесение пленки происходило распылением смеси растворов солей металлов на нагретую до 420 °С стеклянную подложку. Найден оптимальный режим нанесения и произведен контроль состава полученной структуры с помощью рентгенофазового анализа. Морфология поверхности пленки изучалась методом атомно-силовой микроскопии. Измерения электрических параметров пленки производились методом Ван-дер-Пау и с помощью эффекта Холла. Измерены удельное сопротивление пленки, тип проводимости, концентрация и подвижность носителей зарядов. Ширина запрещенной зоны определялась по спектрам поглощения света. С помощью полученной информации о составе и морфологии аналитическим путем на основе литературных и расчетных данных сделан вывод о возможности использования данного материала для сверхчувствительного датчика экспресс-контроля NO2 для прибора диагностики бронхиальной астмы.