Наноиндустрия #7-8/2021
А.Б.Фадеев, А.К.Рыбаков, М.К.Ветрянщиков, А.В.Господинов
Нюансы и тонкости проведения DOP-теста и измерения перепада давления
DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.7-8.406.411 Рассмотрены технические аспекты измерения перепадов давления, целостности и герметичности установки НЕРА-фильтров (DOP-тест), процедура аттестации чистых помещений, в которой проводятся измерения параметров, предусмотренных государственными стандартами (концентрация аэрозольных частиц, температура, влажность, уровень шума, перепад давления). Особое внимание уделено проверке целостности и герметичности НЕРА-фильтров.