Наноиндустрия #2/2022
О.В.Синицына, И.В.Яминский
СИЛА СКАНИРУЮЩЕГО СИЛОВОГО МИКРОСКОПА
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.15.2.140.143 У атомно-силового микроскопа есть и другое название – сканирующий силовой микроскоп. При получении изображений с его помощью необходимо использовать обратную связь для контроля силы взаимодействия между зондом и образцом. Как правило, ее нужно поддерживать на минимальном значении, чтобы не деформировать образец и зонд в процессе измерений. Напротив, в нанолитографии и наноиндентировании следует прилагать большую силу, чтобы получить четкий рисунок на поверхности. В данной статье рассматривается, какие силы возникают и сколько энергии затрачивается при возникновении типичного дефекта в виде шестиконечной звезды на графите.