Наноиндустрия #4/2012
Л.Раткин
Технологии производства МЭМС и НЭМС
На научной сессии Отделения нанотехнологий и информационных технологий (ОНИТ) Российской академии наук (РАН), состоявшейся 29 февраля 2012 года, рассматривались технологии изготовления и перспективы развития МЭМС и НЭМС.