Наноиндустрия #4/2012
А.Вохидов, Л.Добровольский
Эпиламирование: эффективный метод создания нанопленок
Эпиламы – растворы фторсодержащих поверхностно-активных веществ, образующие после нанесения на поверхность и испарения растворителя мономолекулярные пленки, придающие поверхности новые свойства. Обработка обеспечивает продление ресурса и повышение надежности ответственных узлов и деталей.