Наноиндустрия #4/2011
Д.Красовицкий, А.Алексеев, С.Петров, В.Чалый
Стандартизованное производство гетероструктур III-N для твердотельной СВЧ-электроники
Рассмотрены возможности широкозонных полупроводниковых нитридов III группы для мощных приемопередающихустройств СВЧ-диапазона, пути преодоления проблем, возникающих при разработке технологии приборных нитридных гетероструктур. Создание специализированного ростового оборудования и применение новаторских конструкций гетероструктур и режимов их роста позволили достичь результатов мирового уровня и расширить перспективы улучшения таких структур.