Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "vacuum installation"

Наноиндустрия #5/2012
В.Одиноков
НИИ точного машиностроения – оборудование для производства интегральных схем

Для производства интегральных схем (ИС) необходимы сотни операций на специальном технологическом оборудовании (СТО), без которого их разработка и массовое производство невозможны. К началу 1960-х годов в СССР возникла необходимость создания машиностроительного производства для электронной промышленности. В числе первых предприятий Научного центра микроэлектроники в Зеленограде 8 августа 1962 года Постановлением ЦК КПСС и СМ СССР № 831-358 был организован НИИ-350 с опытным заводом, впоследствии – Научно-исследовательский институт точного машиностроения с заводом "Элион". С 1993 года институт входит в Акционерную финансовую корпорацию "Система", а с 2002 года – в ОАО "Ситроникс" по направлению "Микроэлектронные решения".