Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "low-temperature plasma"

Наноиндустрия #7-8/2019
Т.М.Васильева, Е.В.Кочурова, Е.О.Кудасова, Р.А.Акасов, Хтет Вэй Ян Чжо, Хтет Ко Ко Зау
Применение низкотемпературной плазмы пониженного давления в клинической медицине и фармацевтике

Описаны генераторы электронно-пучковой плазмы и гибридной плазмы, предназначенные для модификации (био)полимерных материалов, используемых в медицине. Приводятся данные о морфологии поверхности, химической структуре и биологической активности модифицированных полимеров. DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.7-8.434.442

Наноиндустрия #5/2012
В.Одиноков, Г.Павлов, В.Самойликов, П.Иракин
Газофазное осаждение структур, активируемых низкотемпературной плазмой

Повышение качества слоев при минимизации воздействия на поверхность и нижележащие структуры достигается применением газофазного осаждения, стимулированного плазмой индуктивного разряда (ICP CVD). Учет газодинамических особенностей инжекция рабочих газов из газового кольца, окружающего подложку, в реактор с рабочим вакуумом открывает новые возможности при разработке высокоэффективного оборудования для пластин большого диаметра. В работе исследуется влияние давления в реакторе на газодинамику осаждения нитрида кремния.