Наноиндустрия #2/2023
А.В.Смирнов
КОСВЕННЫЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ ПО ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОМУ ЭФФЕКТУ НА ПЛЕНКАХ СЕЛЕНА
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.2.124.129 Рассмотрены методики определения толщин тонких пленок металлов. Синтезированы тонкие пленки аморфного селена, серебра и слоев серебра на пленке из селена. На УФ-спектрофотометре сняты спектры оптического пропускания. Предложена методика определения толщины тонких пленок металлов по интерференционному эффекту в некотором диапазоне толщин пленок селена. Проведены соответствующие вычисления.
Наноиндустрия #1/2023
E.C.Тюнтеров, В.С.Абруков, В.А.Мукин, А.В.Смирнов, Д.В.Петров, Н.И.Петров, Н.В.Александрова, И.Ю.Семенова
МЕТОДОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ С ЗАДАННОЙ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬЮ ДЛЯ ХЕМОРЕЗИСТИВНОЙ ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКИ БЕЗ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.16.1.22.28 Представлена методология разработки тонкопленочных систем, которая позволит получать хеморезистивные сенсоры с заданной газочувствительностью. Методология заключается в проведении серий экспериментов по синтезу тонкопленочных систем с использованием различных технологий синтеза (различные исходные материалы, параметры синтеза тонких пленок, различные методы синтеза тонких пленок: терморезистивное испарение, воздушно-капельное распыление, отжиг в атмосфере кислорода), проведении измерений их свойств и характеристик, создании базы данных результатов экспериментов; обобщении зависимостей, содержащихся в экспериментальных данных с помощью искусственных нейронных сетей в виде многофакторных вычислительных моделей. Эти модели позволят решать прямые и обратные задачи, экстраполировать выявленные в экспериментальных данных зависимости, проводить виртуальные эксперименты.